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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？
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mxc879952467

木虫 (初入文坛)

小兵一名

[求助] 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？

磁控溅射或高温退火时，不同的氩气流速对样品有影响吗？
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用心做事，爱心育人
1楼 2013-03-25 15:00:07
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-25 18:06:26
貌似还没遇见过这样的问题啊，控制气流量不都是用流量计吗。
不过，按照我的理解，气流流速越大的话，单位时间在腔室内的气体量就越多，这会使得溅射出来的原子团或者分子团的自由程减少，也就是原子团或分子团受到的阻力大，不容易到达基片表面。不知道对不对，仅供参考
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用绳命来搞科研
2楼2013-03-25 15:51:25
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-25 18:06:32
溅射速率  散射强度   高温退火时流量大只会使冷却速度加快
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何必看破
3楼2013-03-25 16:21:49
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mxc879952467

木虫 (初入文坛)

小兵一名
引用回帖:
3楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-03-25 11:21:49
溅射速率  散射强度   高温退火时流量大只会使冷却速度加快

那氩气流速越大，溅射速率和散射强度是越大还是越小呢？
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用心做事，爱心育人
4楼2013-03-25 16:45:10
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-25 18:06:39
mxc879952467: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-26 15:12:41
2楼和3楼的观点都略有问题。
实际上，影响粒子散射的因素是分子自由程，与溅射时的工作气压有关，与流速的关系不大。
在溅射的工作气压的量级下，分子自由程较大，“气流”的概念已经不太合适了，应按照气体扩散的概念去思考问题。
但是，有的系统的氩气最终出口是设置在靶的旁边，例如设有“供气环”，（即一个环形管上开许多小孔），这样的话当气流过大时，真空室内的气压均匀性会降低，即真空计显示的气压比靶附近的实际气压偏低。但气流过小时，为了维持气压不变，需降低系统抽速，这样对于漏率较高的系统，有可能会使杂质气体所占的分压升高，氩气所占分压偏低。
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5楼2013-03-25 17:04:50
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-25 17:04:50
2楼和3楼的观点都略有问题。
实际上，影响粒子散射的因素是分子自由程，与溅射时的工作气压有关，与流速的关系不大。
在溅射的工作气压的量级下，分子自由程较大，“气流”的概念已经不太合适了，应按照气体扩散的 ...

好吧  同学很认真  就是这个意思吧
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何必看破
6楼2013-03-25 22:40:01
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
引用回帖:
4楼: Originally posted by mxc879952467 at 2013-03-25 16:45:10
那氩气流速越大，溅射速率和散射强度是越大还是越小呢？...

气压大时溅射速率慢 散射强度大
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何必看破
7楼2013-03-25 22:41:09
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swxby

木虫 (著名写手)
气体流量从来都是和压强同时考虑，分开考虑没有意义。
压强才是越低，生长越快。
退火改变结晶状况，如晶向。
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喵了个咪的~
8楼2013-12-12 21:49:14
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