应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？
51/1返回列表
查看: 3091  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mxc879952467

木虫 (初入文坛)

小兵一名

[求助] 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？

磁控溅射或高温退火时，不同的氩气流速对样品有影响吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
用心做事，爱心育人
1楼 2013-03-25 15:00:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-25 17:04:50
2楼和3楼的观点都略有问题。
实际上，影响粒子散射的因素是分子自由程，与溅射时的工作气压有关，与流速的关系不大。
在溅射的工作气压的量级下，分子自由程较大，“气流”的概念已经不太合适了，应按照气体扩散的 ...

好吧  同学很认真  就是这个意思吧
赞一下 回复此楼
何必看破
6楼2013-03-25 22:40:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-25 18:06:26
貌似还没遇见过这样的问题啊，控制气流量不都是用流量计吗。
不过，按照我的理解，气流流速越大的话，单位时间在腔室内的气体量就越多，这会使得溅射出来的原子团或者分子团的自由程减少，也就是原子团或分子团受到的阻力大，不容易到达基片表面。不知道对不对，仅供参考
赞一下 回复此楼
用绳命来搞科研
2楼2013-03-25 15:51:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-25 18:06:32
溅射速率  散射强度   高温退火时流量大只会使冷却速度加快
赞一下 回复此楼
何必看破
3楼2013-03-25 16:21:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mxc879952467

木虫 (初入文坛)

小兵一名
引用回帖:
3楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-03-25 11:21:49
溅射速率  散射强度   高温退火时流量大只会使冷却速度加快

那氩气流速越大，溅射速率和散射强度是越大还是越小呢？
赞一下 回复此楼
用心做事，爱心育人
4楼2013-03-25 16:45:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭