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溅射金属靶的辉光颜色问题
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| 大家好，我使用磁控溅射沉积金属薄膜，可是最近经常用的那个靶出现了问题。在和以前气压和功率均一样的条件下，辉光光颜色本来应该为蓝色，可是现在怎么都变不到蓝色。现在辉光颜色是紫色。而且打开舱看以后金属靶表面有中间和圆圈周围是黄色。不知道是不是被氧化了？我把所有的真空都检查一边发现没有漏的地方。但是我发现所使用的那个把表面磁场好像是变弱了一点，我使用的普通靶，想问问各位高手磁场强度和辉光颜色之间有没有明确的联系？谢谢大家了！ |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 02:04:33
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 02:04:33
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你这么说我就觉得很正常了！ 用射频源比较头疼的就是匹配器的调节，首先可以肯定的是，无论是自动匹配还是手动匹配，都很难达到反射功率为零的匹配。因此，匹配器调节的好坏，直接决定有多少功率被加到靶上了！靶上所施加射频功率（溅射功率）直接决定轰击到靶材表面气体离子的能量以及靶位附近等离子体的密度，这也是功率影响溅射速率的原因，靶材表面气体离子的能量直接决定了辉光的颜色，因此你溅射功率不变，在一定气压范围内，辉光颜色是不会随气压变化的（气压变化范围增大不一定，因为有可能辉光熄灭）。 建议首先查一下Ar的原子光谱，然后看一下不同颜色辉光对应的溅射功率是多大，说不定你可以在里面做一些文章，当然，是从等离子体角度，而不是从镀膜的角度！ |
6楼2013-07-06 14:30:58
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