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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 溅射金属靶的辉光颜色问题
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 溅射金属靶的辉光颜色问题

大家好，我使用磁控溅射沉积金属薄膜，可是最近经常用的那个靶出现了问题。在和以前气压和功率均一样的条件下，辉光光颜色本来应该为蓝色，可是现在怎么都变不到蓝色。现在辉光颜色是紫色。而且打开舱看以后金属靶表面有中间和圆圈周围是黄色。不知道是不是被氧化了？我把所有的真空都检查一边发现没有漏的地方。但是我发现所使用的那个把表面磁场好像是变弱了一点，我使用的普通靶，想问问各位高手磁场强度和辉光颜色之间有没有明确的联系？谢谢大家了！
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1楼 2013-07-03 16:36:00
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CNHsdhcqcw

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
起辉颜色变化是不是因为溅射的现在是靶表面的那层黄色材料，楼主做的是银靶吗？

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8楼2024-04-12 11:01:02
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