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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助
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白鹤卧雪

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助 已有4人参与

我用的磁控溅射仪镀的Cu薄膜，以前做的时候溅射时辉光很稳定，但最近几次，Cu的辉光很不稳定，电流电压都不稳，请问下谁知道是什么原因？溅射时设置的电流120mA，工作气压设置的是2Pa,通的保护气是氩气。

[ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ]
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1楼 2011-04-15 09:21:48
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jic8417(金币+1): 谢谢应助讨论。 2011-04-19 23:36:17
首先检查靶，是否快溅射穿了！
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2楼2011-04-17 15:55:19
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2011-04-19 22:26:22
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白鹤卧雪

银虫 (小有名气)
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！
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4楼2011-04-20 09:14:25
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
辉光不稳有没有可能是气压不稳，设备哪个地方漏气了？
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
5楼2012-11-22 21:10:02
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人经验，靶至关重要。
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6楼2012-11-22 22:19:32
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迫不得已

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 白鹤卧雪 at 2011-04-20 09:14:25
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！

我们实验室的设备也遇见过这种现象，应该是氩气的气压在刚开始引弧时过低引起的，引弧成功也就是辉光放电后氩气的气压波动范围不能过大，要尽量保持稳定！
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我就是我，颜色不一样的烟火
7楼2014-03-13 21:32:00
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