应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助
71/1返回列表
查看: 2683  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

白鹤卧雪

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助 已有4人参与

我用的磁控溅射仪镀的Cu薄膜，以前做的时候溅射时辉光很稳定，但最近几次，Cu的辉光很不稳定，电流电压都不稳，请问下谁知道是什么原因？溅射时设置的电流120mA，工作气压设置的是2Pa,通的保护气是氩气。

[ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-04-15 09:21:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jic8417(金币+1): 谢谢应助讨论。 2011-04-19 23:36:17
首先检查靶，是否快溅射穿了！
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-04-17 15:55:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2011-04-19 22:26:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

白鹤卧雪

银虫 (小有名气)
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-20 09:14:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xpengpengx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
辉光不稳有没有可能是气压不稳，设备哪个地方漏气了？
赞一下 回复此楼
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
5楼2012-11-22 21:10:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人经验，靶至关重要。
赞一下 回复此楼
6楼2012-11-22 22:19:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

迫不得已

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 白鹤卧雪 at 2011-04-20 09:14:25
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！

我们实验室的设备也遇见过这种现象，应该是氩气的气压在刚开始引弧时过低引起的，引弧成功也就是辉光放电后氩气的气压波动范围不能过大，要尽量保持稳定！
赞一下 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
7楼2014-03-13 21:32:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 白鹤卧雪 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研求调剂 +3 ban班小七 2026-04-11 3/150 2026-04-11 20:48 by may_新宇
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 11/550 2026-04-11 19:57 by 逆水乘风
[考研] 275求调剂 +9 1624447980 2026-04-08 10/500 2026-04-11 10:20 by Delta2012
[考研] 电气工程专硕320求调剂 +4 小麻子111 2026-04-10 4/200 2026-04-11 10:19 by Delta2012
[考研] 302分求调剂 +9 凡语祈愿 2026-04-08 10/500 2026-04-10 23:26 by 314126402
[考研] 一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂 +27 努力奋斗112 2026-04-07 30/1500 2026-04-10 15:06 by Kilig0317
[考研] 一志愿沪9，326生物学求相关专业调剂 +4 刘墨墨 2026-04-09 4/200 2026-04-10 12:07 by pengliang8036
[考研] 环境专硕调剂 +16 会说话的肘子 2026-04-06 16/800 2026-04-10 10:30 by asy1wn
[考研] 一志愿 江南大学 085602 化工专硕 338分求调剂 +16 路痴小琪 2026-04-05 16/800 2026-04-10 08:08 by kangsm
[考研] 085600材料与化工301分求调剂院校 +33 刺痛jk 2026-04-06 34/1700 2026-04-09 18:31 by hy861222
[考研] 材料299专硕求调剂 +10 +21 2026-04-09 10/500 2026-04-09 17:34 by 1753564080
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +11 emokidd 2026-04-08 12/600 2026-04-09 09:24 by wyf236
[考研] 材料考研求调剂总分280 +30 mkjlz1 2026-04-06 35/1750 2026-04-08 21:25 by cyh—315
[考研] 0703调剂，一志愿天津大学319分 +23 haaaabcd 2026-04-05 26/1300 2026-04-08 16:19 by luoyongfeng
[考研] 22408 266求调剂 +11 masss11222 2026-04-07 14/700 2026-04-08 11:06 by yulian1987
[考研] 265求调剂 +19 小木虫085600 2026-04-06 21/1050 2026-04-08 10:38 by 逆水乘风
[考研] 0854电子信息319求调剂（接受跨专业调剂） +5 星星不眨眼喽 2026-04-05 6/300 2026-04-07 22:16 by hemengdong
[考博] 博士申请 +3 IQwQl 2026-04-05 3/150 2026-04-07 20:31 by greychen00
[考研] 318求调剂 +5 李青山山山 2026-04-07 5/250 2026-04-07 18:24 by 蓝云思雨
[考研] 302分 085601求调剂推荐 +11 zyx上岸！ 2026-04-05 11/550 2026-04-05 22:13 by dongzh2009
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭