应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助
71/1返回列表
查看: 2686  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

白鹤卧雪

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助 已有4人参与

我用的磁控溅射仪镀的Cu薄膜，以前做的时候溅射时辉光很稳定，但最近几次，Cu的辉光很不稳定，电流电压都不稳，请问下谁知道是什么原因？溅射时设置的电流120mA，工作气压设置的是2Pa,通的保护气是氩气。

[ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-04-15 09:21:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jic8417(金币+1): 谢谢应助讨论。 2011-04-19 23:36:17
首先检查靶，是否快溅射穿了！
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-04-17 15:55:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2011-04-19 22:26:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

白鹤卧雪

银虫 (小有名气)
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-20 09:14:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xpengpengx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
辉光不稳有没有可能是气压不稳，设备哪个地方漏气了？
赞一下 回复此楼
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
5楼2012-11-22 21:10:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人经验，靶至关重要。
赞一下 回复此楼
6楼2012-11-22 22:19:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

迫不得已

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 白鹤卧雪 at 2011-04-20 09:14:25
靶是新的，还有几毫米厚呢，是用酒精洗的！然后烘干！

我们实验室的设备也遇见过这种现象，应该是氩气的气压在刚开始引弧时过低引起的，引弧成功也就是辉光放电后氩气的气压波动范围不能过大，要尽量保持稳定！
赞一下 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
7楼2014-03-13 21:32:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 白鹤卧雪 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 279学硕食品专业求调剂院校 20+4 孤独的狼爱吃羊 2026-04-12 17/850 2026-04-12 20:23 by bljnqdcc
[考研] 299求调剂 +8 ZVVZ13 2026-04-08 8/400 2026-04-12 00:40 by 蓝云思雨
[考研] 调剂 +4 电气300求调剂不 2026-04-08 7/350 2026-04-11 10:44 by 紫曦紫棋
[考研] 还有化工二轮调剂的学校吗 5+14 化工人999 2026-04-09 48/2400 2026-04-11 10:27 by 89436494
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
[考研] 080100力学316求调剂 +8 L_Hairui 2026-04-07 8/400 2026-04-11 10:00 by zhq0425
[考研] 广东省 085601 329分求调剂 +14 Eddieddd 2026-04-10 14/700 2026-04-11 09:58 by bljnqdcc
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 08工学 309分求调剂 +6 Yin DY 2026-04-08 6/300 2026-04-10 09:18 by Delta2012
[考研] 284求调剂 +7 让我上岸吧阿西 2026-04-09 7/350 2026-04-09 18:59 by haironglove
[考研] 322求调剂，08工科 +3 今天是个小号 2026-04-08 3/150 2026-04-09 15:53 by wp06
[考研] 328求调剂 +17 lftmya 2026-04-07 18/900 2026-04-09 08:05 by 5268321
[考研] 0703化学调剂 348分 +14 唉我超真没招了 2026-04-06 15/750 2026-04-08 19:16 by 我减肥1
[考研] 22408 266求调剂 +11 masss11222 2026-04-07 14/700 2026-04-08 11:06 by yulian1987
[考研] 求调剂 +11 wwwwabcde 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:16 by JourneyLucky
[考研] 材料调剂 +13 汉123456 2026-04-07 14/700 2026-04-07 22:53 by 来看流星雨10
[考研] 机械调剂 +3 zzzbcb 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:19 by hemengdong
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级，数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 信工所11408 340分 本科西安交大自动化 +3 moontrek 2026-04-06 3/150 2026-04-07 09:56 by chongya
[考研] 22408 331分求调剂 +4 y__1 2026-04-06 4/200 2026-04-06 17:26 by 土木硕士招生
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭