| 查看: 2663 | 回复: 6 | |||
[交流]
【求助】磁控溅射辉光稳定性求助 已有4人参与
|
|
我用的磁控溅射仪镀的Cu薄膜，以前做的时候溅射时辉光很稳定，但最近几次，Cu的辉光很不稳定，电流电压都不稳，请问下谁知道是什么原因？溅射时设置的电流120mA，工作气压设置的是2Pa,通的保护气是氩气。 [ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
0856材料专硕353求调剂
已经有8人回复
-
材料与化工085600，总分304，本科有两篇sci参与，求调剂
已经有6人回复
-
南昌大学材料专硕311分求调剂
已经有9人回复
-
材料与化工考研调剂
已经有12人回复
-
340求调剂
已经有3人回复
-
安徽大学专硕生物与医药专业(086000)324分，英语已过四六级，六级521，求调剂
已经有3人回复
-
292求调剂
已经有12人回复
-
085600材料与化工306
已经有10人回复
-
359求调剂
已经有4人回复
-
求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- PLD溅射镀膜时，辉光小
已经有13人回复
- 【求助】磁控溅射辉光为什么闪烁
已经有5人回复
- 【求助】磁控溅射FeCo、Ag、Cu膜的辉光颜色？
已经有14人回复
wydmhy
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 161 (高中生)
- 金币: 10557.3
- 散金: 235
- 红花: 41
- 帖子: 4053
- 在线: 719.1小时
- 虫号: 903420
- 注册: 2009-11-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2011-04-17 15:55:19
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2011-04-19 22:26:22
4楼2011-04-20 09:14:25
xpengpengx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 628.7
- 散金: 14
- 红花: 1
- 帖子: 128
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 2138044
- 注册: 2012-11-20
- 专业: 半导体光电子器件
5楼2012-11-22 21:10:02
wydmhy
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 161 (高中生)
- 金币: 10557.3
- 散金: 235
- 红花: 41
- 帖子: 4053
- 在线: 719.1小时
- 虫号: 903420
- 注册: 2009-11-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2012-11-22 22:19:32
7楼2014-03-13 21:32:00
