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汕头大学海洋科学接受调剂
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白鹤卧雪

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助 已有4人参与

我用的磁控溅射仪镀的Cu薄膜,以前做的时候溅射时辉光很稳定,但最近几次,Cu的辉光很不稳定,电流电压都不稳,请问下谁知道是什么原因?溅射时设置的电流120mA,工作气压设置的是2Pa,通的保护气是氩气。

[ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ]
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迫不得已

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 白鹤卧雪 at 2011-04-20 09:14:25
靶是新的,还有几毫米厚呢,是用酒精洗的!然后烘干!

我们实验室的设备也遇见过这种现象,应该是氩气的气压在刚开始引弧时过低引起的,引弧成功也就是辉光放电后氩气的气压波动范围不能过大,要尽量保持稳定!
我就是我,颜色不一样的烟火
7楼2014-03-13 21:32:00
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
jic8417(金币+1): 谢谢应助讨论。 2011-04-19 23:36:17
首先检查靶,是否快溅射穿了!
2楼2011-04-17 15:55:19
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2011-04-19 22:26:22
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白鹤卧雪

银虫 (小有名气)

靶是新的,还有几毫米厚呢,是用酒精洗的!然后烘干!
4楼2011-04-20 09:14:25
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