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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗
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jzliuzhen

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗

最近用磁控溅射镀膜时候，发现在靶面以外的地方(真空室窗口附近，工件盘下面)也存在辉光放电的现象，不知道是否正常？什么原因导致的?
        镀膜气体流量和压强分别为500sccm  和 0.2Pa。气体是直接通到靶面周围的，不是通到真空室里的。
     请各位虫友帮忙给分析下原因，多谢了！
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1楼 2013-01-19 13:45:38
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macaibin

禁虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jzliuzhen: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-21 11:16:47
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-22 21:55:27
本帖内容被屏蔽
2楼2013-01-19 14:45:51
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jzliuzhen

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by macaibin at 2013-01-19 14:45:51
这个情况对薄膜的均匀度有影响，如果你的衬底面积很小，影响不是很大。你可以看看是不是靶材偏压加大了，检查一下靶位磁场分别和大小。

以前没有发现这种现象，今天突然发现的。卖我们阴极的老外说正常情况下应该只有靶面下方附近有辉光，其他地方是不应该有的。现在担心的是其他地方出现的辉光会不会损坏阴极或镀膜机？
     靶材没有加偏压。磁场分别是什么意思？
非常感谢！
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3楼2013-01-19 22:55:50
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jzliuzhen: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-21 11:18:23
正常情况不会出现这样的问题的，会不会是靶座的磁场有问题，建议看看
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用绳命来搞科研
4楼2013-01-20 18:07:52
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夏南

金虫 (正式写手)

深度强迫症患者

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jzliuzhen: 金币+3, ★有帮助 2013-01-21 11:18:33
产生辉光说明气体在这个区域里发生了电离。建议调整好靶材与样品台之间的距离。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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假装文艺青年的科技工作者。
5楼2013-01-20 22:35:15
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jzliuzhen

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-01-20 18:07:52
正常情况不会出现这样的问题的，会不会是靶座的磁场有问题，建议看看

磁场我们正准备检查。我们发现由于水冷机漏油导致溅射阴极和室体的冷却水里有很多油，这个会不会影响放电？
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6楼2013-01-21 11:20:56
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jzliuzhen

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 夏南 at 2013-01-20 22:35:15
产生辉光说明气体在这个区域里发生了电离。建议调整好靶材与样品台之间的距离。

靶材与样品台之间的距离一直都没有变过，过去是正常的，所以觉得应该不是这方面的原因。我们发现由于水冷机漏油导致溅射阴极和室体的冷却水里有很多油，这个会不会影响放电？
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7楼2013-01-21 11:22:05
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macaibin

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-01-21 13:58:33
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夏南

金虫 (正式写手)

深度强迫症患者
引用回帖:
7楼: Originally posted by jzliuzhen at 2013-01-21 11:22:05
靶材与样品台之间的距离一直都没有变过，过去是正常的，所以觉得应该不是这方面的原因。我们发现由于水冷机漏油导致溅射阴极和室体的冷却水里有很多油，这个会不会影响放电？...

现在所用的参数跟没有问题之前一样吗？
你们之前做的时候流量也是500sccm？真够大了。我做的时候就80.
500sccm下 气压才0.2pa，你们分子泵是开到最大的？
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假装文艺青年的科技工作者。
9楼2013-01-21 17:36:16
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-22 21:55:54
有起辉说明有电压差的存在，建议你把靶座量一下绝缘，一般工厂会拆下来再装一次，把所有东西擦干净抹上真空规脂这些。 和气压这些没有任何关系。
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10楼2013-01-22 08:59:19
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