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磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗
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最近用磁控溅射镀膜时候，发现在靶面以外的地方(真空室窗口附近，工件盘下面)也存在辉光放电的现象，不知道是否正常？什么原因导致的? 镀膜气体流量和压强分别为500sccm 和 0.2Pa。气体是直接通到靶面周围的，不是通到真空室里的。 请各位虫友帮忙给分析下原因，多谢了！ |
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