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jzliuzhen

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 256229
注册: 2006-06-03
性别: GG
专业: 光学

[求助] 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗

最近用磁控溅射镀膜时候，发现在靶面以外的地方(真空室窗口附近，工件盘下面)也存在辉光放电的现象，不知道是否正常？什么原因导致的?
镀膜气体流量和压强分别为500sccm 和 0.2Pa。气体是直接通到靶面周围的，不是通到真空室里的。
请各位虫友帮忙给分析下原因，多谢了！

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1楼 2013-01-19 13:45:38

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dearhanzi

金虫 (小有名气)

应助: 11 (小学生)
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专业: 无机非金属类光电信息与功

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-22 21:55:54

有起辉说明有电压差的存在，建议你把靶座量一下绝缘，一般工厂会拆下来再装一次，把所有东西擦干净抹上真空规脂这些。和气压这些没有任何关系。

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10楼2013-01-22 08:59:19

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