[交流] 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？

3楼: Originally posted by haode22 at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。

8楼: Originally posted by 2011210017 at 2012-05-01 18:21:31:
我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？

4楼: Originally posted by sophia123lucky at 2012-04-28 07:53:38:
这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。