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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？

做了一次15w功率，结果靶面怎么隆起了，而且表面变黑了，这是咋回事？

溅射气体是氩气，无反应气体。
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1楼 2012-04-27 11:46:13
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haode22

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
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3楼2012-04-27 19:42:08
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sophia123lucky

铁杆木虫 (著名写手)
★
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这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。
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4楼2012-04-28 07:53:38
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haode22 at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。

能起辉，本来以为可以溅射上去，可惜没成功。第二次直接就不起辉了，无偏置电压，打开就看到靶面变黑，而且表面隆起，期待做过的人给个解释，或是好的实验方案。


气体纯度应该没问题
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5楼2012-04-28 14:46:53
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adole

至尊木虫 (知名作家)
祝福楼主，加油
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6楼2012-04-28 15:51:09
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cz.87101

木虫 (正式写手)
真正搞学术的真是太少了
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7楼2012-04-30 16:28:51
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2011210017

金虫 (小有名气)
★
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我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？
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8楼2012-05-01 18:21:31
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 2011210017 at 2012-05-01 18:21:31:
我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？

没短路，真空度在5×10-4pa以下，基本上实验参数设置都没有问题，

第一次溅射有偏压，起辉，就是没溅射到基片上

再溅射就是没有偏压，所以第二次就不起辉了

再想办法吧
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9楼2012-05-02 10:50:08
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exciton-wu

木虫 (正式写手)
★
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间歇溅射，水冷充分。只要控制好，还是能镀上的。有直接溅射镓靶的。
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10楼2012-05-02 17:11:24
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by sophia123lucky at 2012-04-28 07:53:38:
这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。

一般怎么做的？热蒸发？
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12楼2012-05-02 20:04:24
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螃蟹没怀孕

新虫 (初入文坛)
一般都用热蒸法
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13楼2012-05-09 23:05:36
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URHX5454

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
顶一下，接下去也要溅射Se,到时也要请假各位
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14楼2012-09-04 16:53:16
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yy20064775

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么不用蒸发？蒸发Se很成熟
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15楼2012-10-23 22:54:37
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civita

新虫 (小有名气)
有毒不
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16楼2012-11-23 18:36:21
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袁星星362

新虫 (小有名气)
★
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请问您现在手上有了可以溅射的数据吗，求指教
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17楼2020-10-15 22:07:37
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假大空2楼
2012-04-27 16:44   回复  
祝福
wxt31111楼
2012-05-02 17:38   回复  
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