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cz.87101

木虫 (正式写手)


[交流] 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么?

做了一次15w功率,结果靶面怎么隆起了,而且表面变黑了,这是咋回事?

溅射气体是氩气,无反应气体。
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cz.87101

木虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by haode22 at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ,需要技术哦,升华点很低吧,能起辉不?溅射过程中表面是会升温的,靶面变黑,检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。

能起辉,本来以为可以溅射上去,可惜没成功。第二次直接就不起辉了,无偏置电压,打开就看到靶面变黑,而且表面隆起,期待做过的人给个解释,或是好的实验方案。


气体纯度应该没问题
5楼2012-04-28 14:46:53
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haode22

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
溅射Se ,需要技术哦,升华点很低吧,能起辉不?溅射过程中表面是会升温的,靶面变黑,检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
3楼2012-04-27 19:42:08
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sophia123lucky

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个很难做吧,硒沸点低,一般不会这么做的,期待你的好结果。
4楼2012-04-28 07:53:38
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adole

至尊木虫 (知名作家)


祝福楼主,加油


6楼2012-04-28 15:51:09
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简单回复
假大空2楼
2012-04-27 16:44   回复  
祝福
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