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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？

做了一次15w功率，结果靶面怎么隆起了，而且表面变黑了，这是咋回事？

溅射气体是氩气，无反应气体。
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1楼 2012-04-27 11:46:13
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2011210017

金虫 (小有名气)
★
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我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？
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8楼2012-05-01 18:21:31
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haode22

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
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3楼2012-04-27 19:42:08
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sophia123lucky

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。
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4楼2012-04-28 07:53:38
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haode22 at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。

能起辉，本来以为可以溅射上去，可惜没成功。第二次直接就不起辉了，无偏置电压，打开就看到靶面变黑，而且表面隆起，期待做过的人给个解释，或是好的实验方案。


气体纯度应该没问题
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5楼2012-04-28 14:46:53
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假大空2楼
2012-04-27 16:44   回复  
祝福
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