应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？
171/1返回列表
查看: 2769  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？

做了一次15w功率，结果靶面怎么隆起了，而且表面变黑了，这是咋回事？

溅射气体是氩气，无反应气体。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-04-27 11:46:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
赞一下 回复此楼
3楼2012-04-27 19:42:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sophia123lucky

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。
赞一下 回复此楼
4楼2012-04-28 07:53:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haode22 at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ，需要技术哦，升华点很低吧，能起辉不？溅射过程中表面是会升温的，靶面变黑，检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。

能起辉，本来以为可以溅射上去，可惜没成功。第二次直接就不起辉了，无偏置电压，打开就看到靶面变黑，而且表面隆起，期待做过的人给个解释，或是好的实验方案。


气体纯度应该没问题
赞一下 回复此楼
5楼2012-04-28 14:46:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

adole

至尊木虫 (知名作家)
祝福楼主，加油
回复此楼
6楼2012-04-28 15:51:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cz.87101

木虫 (正式写手)
真正搞学术的真是太少了
赞一下 回复此楼
7楼2012-04-30 16:28:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

2011210017

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？
赞一下 回复此楼
8楼2012-05-01 18:21:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 2011210017 at 2012-05-01 18:21:31:
我百度了一下硒是非金属，应该不导电，所以只能用射频溅射了，靶面隆起可能和他熔点低，溅射过程温度过高导致。不启辉量下靶面与靶罩间的电阻，看下短路没有。
你做实验前真空抽到什么程度了？

没短路，真空度在5×10-4pa以下，基本上实验参数设置都没有问题，

第一次溅射有偏压，起辉，就是没溅射到基片上

再溅射就是没有偏压，所以第二次就不起辉了

再想办法吧
赞一下 回复此楼
9楼2012-05-02 10:50:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciton-wu

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
间歇溅射，水冷充分。只要控制好，还是能镀上的。有直接溅射镓靶的。
赞一下 回复此楼
10楼2012-05-02 17:11:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by sophia123lucky at 2012-04-28 07:53:38:
这个很难做吧，硒沸点低，一般不会这么做的，期待你的好结果。

一般怎么做的？热蒸发？
赞一下 回复此楼
12楼2012-05-02 20:04:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

螃蟹没怀孕

新虫 (初入文坛)
一般都用热蒸法
回复此楼
13楼2012-05-09 23:05:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

URHX5454

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
顶一下，接下去也要溅射Se,到时也要请假各位
赞一下 回复此楼
14楼2012-09-04 16:53:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yy20064775

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么不用蒸发？蒸发Se很成熟
赞一下 回复此楼
15楼2012-10-23 22:54:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

civita

新虫 (小有名气)
有毒不
回复此楼
16楼2012-11-23 18:36:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

袁星星362

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问您现在手上有了可以溅射的数据吗，求指教
赞一下 回复此楼
17楼2020-10-15 22:07:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
假大空2楼
2012-04-27 16:44   回复  
祝福
wxt31111楼
2012-05-02 17:38   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 cz.87101 的主题更新
171/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +7 随心所欲☆ 2026-04-15 8/400 2026-04-21 08:22 by Equinoxhua
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 5/250 2026-04-20 10:47 by YuY66
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂推荐 +9 小聂爱学习 2026-04-14 9/450 2026-04-19 17:03 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 291求调剂 +12 关忆北. 2026-04-14 13/650 2026-04-19 16:50 by 中豫男
[考研] 307中医考研调剂 +9 于以采蘩 2026-04-14 9/450 2026-04-19 08:41 by 烟雨流涯
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 297，工科调剂? +5 河南农业大学-能 2026-04-14 5/250 2026-04-18 15:17 by Equinoxhua
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
[考研] 药学求调剂 +14 喽哈加油 2026-04-14 16/800 2026-04-16 10:15 by beilsong20
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭