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【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么?
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cz.87101
木虫
(正式写手)
应助: 27
(小学生)
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虫号: 1047953
[交流]
【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么?
做了一次15w功率,结果靶面怎么隆起了,而且表面变黑了,这是咋回事?
溅射气体是氩气,无反应气体。
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1楼
2012-04-27 11:46:13
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yy20064775
新虫
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
为什么不用蒸发?蒸发Se很成熟
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15楼
2012-10-23 22:54:37
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haode22
金虫
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
溅射Se ,需要技术哦,升华点很低吧,能起辉不?溅射过程中表面是会升温的,靶面变黑,检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
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3楼
2012-04-27 19:42:08
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sophia123lucky
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个很难做吧,硒沸点低,一般不会这么做的,期待你的好结果。
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4楼
2012-04-28 07:53:38
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cz.87101
木虫
(正式写手)
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(小学生)
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虫号: 1047953
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3楼
:
Originally posted by
haode22
at 2012-04-27 19:42:08:
溅射Se ,需要技术哦,升华点很低吧,能起辉不?溅射过程中表面是会升温的,靶面变黑,检查你的气体纯度。期待你能做出好结果。
能起辉,本来以为可以溅射上去,可惜没成功。第二次直接就不起辉了,无偏置电压,打开就看到靶面变黑,而且表面隆起,期待做过的人给个解释,或是好的实验方案。
气体纯度应该没问题
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5楼
2012-04-28 14:46:53
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假大空
2楼
2012-04-27 16:44
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