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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于金属靶磁控溅射问题
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 关于金属靶磁控溅射问题

我在用射频磁控溅上金属膜时，基材是单晶硅，功率40w，但是镀不上膜，而且靶罩变成了黑色，不知是什么原因？麻烦各位给些建议，谢谢！
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1楼 2013-06-18 16:41:03
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南大仪器

木虫 (小有名气)
★
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磁控溅射方面也想学习哈子！
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3楼2013-06-18 22:36:57
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
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1. 靶罩是指外面的挡板吗？如果是，请检查镀膜过程中挡板是否成功打开。

2. 40W的射频功率建立起来的靶上的偏压是多少？是否确定溅射能够发生？
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4楼2013-06-19 03:16:48
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-19 03:16:48
1. 靶罩是指外面的挡板吗？如果是，请检查镀膜过程中挡板是否成功打开。

2. 40W的射频功率建立起来的靶上的偏压是多少？是否确定溅射能够发生？

靶罩是在靶材的外面，不是基片挡板，已经起辉了，偏压是600v。但是不知道是什么原因，谢谢您
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5楼2013-06-19 09:38:46
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
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能否具体说说你是用什么气体，什么靶材想镀什么膜不？太粗泛了真不好分析！
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6楼2013-06-19 13:13:56
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-19 13:13:56
能否具体说说你是用什么气体，什么靶材想镀什么膜不？太粗泛了真不好分析！

我用氩气，铝靶或铜靶，在硅片上镀膜。另外，我想请问一下，对于不同的靶材，用相同的仪器，镀膜速率相同吗？
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7楼2013-06-19 14:07:27
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
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7楼: Originally posted by miaobotong at 2013-06-19 07:07:27
我用氩气，铝靶或铜靶，在硅片上镀膜。另外，我想请问一下，对于不同的靶材，用相同的仪器，镀膜速率相同吗？...

不同的靶材，镀膜速率当然不同！因为氩离子在轰击不同靶材的表面时，很多参数都跟着变，如溅射能量、反射系数等！
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8楼2013-06-20 02:09:03
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用氩气溅射铝靶或铜靶，我始终想不通前面说靶罩上的黑色是怎么来的，因为如果起辉发生溅射的话，这两种金属无论如何也不会出现黑色的沉积物啊！另外，对于金属靶40W的射频功率能建立其600V的偏压对我来说实在是有点难以置信！

综上，我对楼主遇到的问题暂时无解！
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9楼2013-06-20 02:11:49
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-20 02:09:03
不同的靶材，镀膜速率当然不同！因为氩离子在轰击不同靶材的表面时，很多参数都跟着变，如溅射能量、反射系数等！...

如果同样是金属靶，比如铜或铝或金是不是相差的不会很多呢？
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10楼2013-06-20 09:37:22
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
miaobotong: 金币+3 2013-06-20 13:58:59
引用回帖:
10楼: Originally posted by miaobotong at 2013-06-20 02:37:22
如果同样是金属靶，比如铜或铝或金是不是相差的不会很多呢？...

你想说明什么呢？溅射速率你直接沉积一段时间然后测量膜厚就能算出来啊，即使相差不是很多跟他们都是金属也没有直接关系啊
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11楼2013-06-20 12:37:31
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-20 12:37:31
你想说明什么呢？溅射速率你直接沉积一段时间然后测量膜厚就能算出来啊，即使相差不是很多跟他们都是金属也没有直接关系啊...

谢谢！
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12楼2013-06-20 13:58:05
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GMS-PVD

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-20 02:11:49
用氩气溅射铝靶或铜靶，我始终想不通前面说靶罩上的黑色是怎么来的，因为如果起辉发生溅射的话，这两种金属无论如何也不会出现黑色的沉积物啊！另外，对于金属靶40W的射频功率能建立其600V的偏压对我来说实在是有点 ...

40W/600V只能说明真空度太低，要么Ar通量太小，要么腔体漏气严重。。。
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13楼2013-06-24 20:51:09
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
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你的溅射气压多大啊？
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14楼2013-11-08 15:43:47
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yingying15882楼
2013-06-18 20:25   回复  
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