24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (4008)
>虫友互识 (770)
>文献求助 (269)
>导师招生 (252)
>论文投稿 (141)
>考博 (125)
>硕博家园 (99)
>基金申请 (80)
>教师之家 (74)
>博后之家 (66)
>休闲灌水 (60)
>公派出国 (59)
>考研 (56)
>招聘信息布告栏 (47)
>论文道贺祈福 (39)
>找工作 (38)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

miaobotong

铜虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 81
帖子: 87
在线: 16.8小时
虫号: 1743921

[交流] 关于金属靶磁控溅射问题

我在用射频磁控溅上金属膜时，基材是单晶硅，功率40w，但是镀不上膜，而且靶罩变成了黑色，不知是什么原因？麻烦各位给些建议，谢谢！

回复此楼

» 猜你喜欢

救命帖已经有7人回复
限项规定已经有6人回复
西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生（考核制）—机械、材料、力学方向已经有3人回复
英文综述是否需要润色及查重已经有5人回复
为什么nbs上溴没有产物点出现呢已经有9人回复
招博士已经有3人回复
最失望的一年已经有18人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
磁控溅射镀不上去膜！！已经有14人回复
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈已经有33人回复
磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？已经有20人回复
新手求助各位大师关于磁控溅射NiMn靶的问题已经有5人回复
磁控溅射腔室内的铝靶变质了急！急！急！已经有6人回复
【学术交流】磁控溅射——应用领域交流已经有16人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急已经有10人回复
磁控溅射能起辉，但不能沉积已经有21人回复
求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已经有9人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？已经有5人回复
求助关于磁控溅射的问题已经有29人回复
求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去已经有4人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
磁控溅射镀氧化铝已经有35人回复
【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题已经有4人回复
【求助】请教磁控溅射金属膜问题已经有23人回复
【求助】求助：磁控溅射问题已经有20人回复
【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站已经有6人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2013-06-18 16:41:03

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

GMS-PVD

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 20
帖子: 2
在线: 3.1小时
虫号: 2519828

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

9楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-20 02:11:49
用氩气溅射铝靶或铜靶，我始终想不通前面说靶罩上的黑色是怎么来的，因为如果起辉发生溅射的话，这两种金属无论如何也不会出现黑色的沉积物啊！另外，对于金属靶40W的射频功率能建立其600V的偏压对我来说实在是有点 ...

40W/600V只能说明真空度太低，要么Ar通量太小，要么腔体漏气严重。。。