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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 磁控溅射硅的颜色
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haidong9058

金虫 (职业作家)

[交流] 磁控溅射硅的颜色已有3人参与

请问大家，利用直流源磁控溅射硅，基片上得到硅膜的颜色是褐色的，是怎么回事？以前我得到是蓝黑色的，不过这次溅射时间短。
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1楼2013-08-29 12:05:14
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-09-14 02:00:08
楼主翻翻光学里等厚干涉就明白了，就是不同厚度不同颜色！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2013-08-30 04:36:05
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halfmoon123

木虫 (小有名气)

这么大一个笨蛋
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主我不懂诶，半导体还能用直流磁控溅射？
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你猜我猜不猜
3楼2013-08-30 22:05:18
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亨利_先生

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by halfmoon123 at 2013-08-30 22:05:18
楼主我不懂诶，半导体还能用直流磁控溅射？

估计是硅靶？
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似是故人来
4楼2013-08-31 10:47:49
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