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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
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ljlaser

铁虫 (初入文坛)

[求助] 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！已有9人参与

急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
新手上路，哈哈
射频生长、NiO薄膜，想测出XRD：
3寸NiO靶材，在玻璃基板上，
首先，用120w，170w的RF，通Ar：O2 为15，15sccm，沉积1小时，虽然靶材中间出现了裂纹，但生长的膜，还是太薄，或者结晶差，测不出XRD。
然后，用100w的RF，通Ar：O2 为50，50sccm，沉积1小时，还是测不出XRD的峰。

到底该怎么做呢？

多谢！
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1楼2014-05-19 09:24:42
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先是要用测薄膜的特殊的XRD附件。如果没有这个东西是不行的。
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3楼2014-05-19 21:35:41
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普通回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用XRD是不好测的，本来就是薄膜，趁机上去的结晶度低。建议用XPS看看。
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2楼2014-05-19 14:55:41
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chyan1102

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
沉积的膜太薄，结晶性查的话是测不出来的
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4楼2014-05-21 10:38:30
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度呢？你这个尽然把靶都弄裂了，什么情况，
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dream
5楼2014-05-21 19:46:13
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 建议先用椭圆仪或反射仪测一下膜厚和折射率，初步确定一下状况。
2. 靶裂了？！那电浆不可能均匀。你有没有看一下 matching-box匹配状况和反射比？如果出问题，再镀下去就要烧机器啰～～
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6楼2014-05-21 20:57:21
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by mingxu at 2014-05-21 19:46:13
温度呢？你这个尽然把靶都弄裂了，什么情况，

可能之一：点火与通气步骤不对，导致电弧放电…
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7楼2014-05-21 21:00:18
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by jedi-j at 2014-05-21 21:00:18
可能之一：点火与通气步骤不对，导致电弧放电…
...

这样下去很危险，小心仪器给废了，有的修，至于结晶度，如果别的没有问题，还是关注温度和氧压，
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dream
8楼2014-05-22 07:50:33
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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做的膜太薄了，氧气通的多了，可以减少氧气的流量，延长镀膜时间，把膜做厚点
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9楼2014-05-22 08:19:44
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剑雨逸

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这靶 出裂纹了 你这靶 厚度还剩多少啊 一般 离子刻蚀 位置 比较薄 用的时间比较长 才会出现裂纹 当然靶和后面的板接触不良时 靶材啪啪打火 尤其电压电流 比较大时也容易造成靶裂 这种情况要小心 容易烧坏电源 还要注意靶面溅射是否正常. 关于薄膜的 xrd 楼主注意 非晶态膜 就不好测了 还有测薄膜你得用小角掠射 不能用常规的角度

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10楼2014-05-22 08:29:43
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