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1楼2014-04-29 17:52:53

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道远58

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先确定出你做的薄膜峰在多少度，然后在扫描设定范围时避开硅峰出现的角度，把薄膜峰角度包括进去

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9楼2014-05-01 10:14:12

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peterflyer

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peterflyer

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能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？

2楼2014-04-29 20:30:24

tianci1993

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2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:30:24
能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？

貌似不行～～硅片的峰太强了～～影响很严重～～

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3楼2014-04-29 21:25:41

hsl1987

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Si的xrd峰本来就强，可以用较小的电流扫描看一下，有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰，用大电流扫描，看看有没有薄膜的峰!

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我就是我

4楼2014-04-29 21:31:38

鲸鱼先生

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不是一个晶面也不行么，怎么我用小角就可以

新的奋斗天天开始

5楼2014-04-29 22:42:47

bryano

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你薄膜厚度多少，特征峰在什么范围，测试加的电流是多少？

6楼2014-04-30 12:42:13

kingjin1985

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tianci1993: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-05-01 18:20:58

采用掠入射方式扫

7楼2014-04-30 13:56:27

gxd246

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再多做几层试试，厚度到了，做的再好点的话，基本就能遮住si峰了。。。

爬行的蜗牛……

8楼2014-05-01 09:33:25

吐槽导师

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引用回帖:

4楼: Originally posted by hsl1987 at 2014-04-29 21:31:38
Si的xrd峰本来就强，可以用较小的电流扫描看一下，有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰，用大电流扫描，看看有没有薄膜的峰!

请问是将硅片直接夹在设备上测试吗？

10楼2014-10-07 19:57:31