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tianci1993

木虫 (著名写手)

[求助] 硅片上的薄膜的XRD怎么测已有7人参与

在硅片上做出的薄膜,测XRD的时候发现硅的峰太强。怎么把薄膜弄下来测试?
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道远58

新虫 (正式写手)

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先确定出你做的薄膜峰在多少度,然后在扫描设定范围时避开硅峰出现的角度,把薄膜峰角度包括进去

[ 发自小木虫客户端 ]
9楼2014-05-01 10:14:12
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普通回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

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能否再测一个单独的硅片的XRD,然后将其作为背景从原来的数据中减去呢?
2楼2014-04-29 20:30:24
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tianci1993

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:30:24
能否再测一个单独的硅片的XRD,然后将其作为背景从原来的数据中减去呢?

貌似不行~~硅片的峰太强了~~影响很严重~~

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-04-29 21:25:41
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hsl1987

金虫 (正式写手)

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Si的xrd峰本来就强,可以用较小的电流扫描看一下,有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰,用大电流扫描,看看有没有薄膜的峰!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
我就是我
4楼2014-04-29 21:31:38
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

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不是一个晶面也不行么,怎么我用小角就可以
新的奋斗天天开始
5楼2014-04-29 22:42:47
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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你薄膜厚度多少,特征峰在什么范围,测试加的电流是多少?
6楼2014-04-30 12:42:13
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kingjin1985

新虫 (著名写手)

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★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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tianci1993: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-05-01 18:20:58
采用掠入射方式扫
7楼2014-04-30 13:56:27
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gxd246

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
再多做几层试试,厚度到了,做的再好点的话,基本就能遮住si峰了。。。
爬行的蜗牛……
8楼2014-05-01 09:33:25
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吐槽导师

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by hsl1987 at 2014-04-29 21:31:38
Si的xrd峰本来就强,可以用较小的电流扫描看一下,有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰,用大电流扫描,看看有没有薄膜的峰!

请问是将硅片直接夹在设备上测试吗?
10楼2014-10-07 19:57:31
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