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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜XRD需要多厚？
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llyingann

新虫 (正式写手)

[求助] 薄膜XRD需要多厚？

薄膜想测XRD，我做的一般100nm一下，文献上都说进行多步沉积，增加膜厚，然后才能测XRD，为什么呢？要多厚呢？所谓的多步沉积是把样品取出来冲洗干净烘干后再次沉积嘛？谢谢
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1楼 2013-09-23 17:16:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版做客， 2013-09-24 09:31:53
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-09-24 09:33:28
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧
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2楼2013-09-23 23:01:46
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lycid

禁虫 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
6楼2013-09-24 11:12:19
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普通回帖

hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我做的500nm，还行，也和测试设备有关
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3楼2013-09-24 09:14:24
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llyingann

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-23 23:01:46
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧

谢谢～

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2013-09-24 09:32:23
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
100 nm可以  我做过      太薄了如10 nm搞不来   我也试过
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用绳命来搞科研
5楼2013-09-24 11:08:52
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lycid

禁虫 (著名写手)
★
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-09-24 11:50:02
本帖内容被屏蔽
7楼2013-09-24 11:14:50
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
llyingann: 金币+1 2013-09-25 10:02:55
我们做单晶外延的，基本在20nm以上就可以测出峰来。当然峰不是很锐，但是也可以说明问题了。。。
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奋斗。。。
8楼2013-09-24 12:50:50
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寂寞流年

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-09-24 12:50:50
我们做单晶外延的，基本在20nm以上就可以测出峰来。当然峰不是很锐，但是也可以说明问题了。。。

请问一下，你是在哪里测得XRD，什么型号的仪器，我做的也是二三十纳米的薄膜，去两个地方都测过XRD，但都没有结果。。。
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9楼2013-09-25 11:38:18
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 寂寞流年 at 2013-09-25 11:38:18
请问一下，你是在哪里测得XRD，什么型号的仪器，我做的也是二三十纳米的薄膜，去两个地方都测过XRD，但都没有结果。。。...

要是单晶才行吧。我们做的单晶，用的专门的单晶XRD，X‘pert 的四晶衍射仪，飞利浦的，还是算比较老的仪器了，九几年的。。我们所的，上海微系统
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奋斗。。。
10楼2013-09-25 11:56:41
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