应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜XRD需要多厚？
161/2返回列表12下一页
查看: 3257  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

llyingann

新虫 (正式写手)

[求助] 薄膜XRD需要多厚？

薄膜想测XRD，我做的一般100nm一下，文献上都说进行多步沉积，增加膜厚，然后才能测XRD，为什么呢？要多厚呢？所谓的多步沉积是把样品取出来冲洗干净烘干后再次沉积嘛？谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-09-23 17:16:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版做客， 2013-09-24 09:31:53
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-09-24 09:33:28
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-09-23 23:01:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lycid

禁虫 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
6楼2013-09-24 11:12:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我做的500nm，还行，也和测试设备有关
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-24 09:14:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

llyingann

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-23 23:01:46
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧

谢谢～

[ 发自小木虫客户端 ]
回复此楼
4楼2013-09-24 09:32:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
100 nm可以  我做过      太薄了如10 nm搞不来   我也试过
赞一下 回复此楼
用绳命来搞科研
5楼2013-09-24 11:08:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lycid

禁虫 (著名写手)
★
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-09-24 11:50:02
本帖内容被屏蔽
7楼2013-09-24 11:14:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
llyingann: 金币+1 2013-09-25 10:02:55
我们做单晶外延的，基本在20nm以上就可以测出峰来。当然峰不是很锐，但是也可以说明问题了。。。
赞一下 回复此楼
奋斗。。。
8楼2013-09-24 12:50:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

寂寞流年

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-09-24 12:50:50
我们做单晶外延的，基本在20nm以上就可以测出峰来。当然峰不是很锐，但是也可以说明问题了。。。

请问一下，你是在哪里测得XRD，什么型号的仪器，我做的也是二三十纳米的薄膜，去两个地方都测过XRD，但都没有结果。。。
赞一下 回复此楼
9楼2013-09-25 11:38:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 寂寞流年 at 2013-09-25 11:38:18
请问一下，你是在哪里测得XRD，什么型号的仪器，我做的也是二三十纳米的薄膜，去两个地方都测过XRD，但都没有结果。。。...

要是单晶才行吧。我们做的单晶，用的专门的单晶XRD，X‘pert 的四晶衍射仪，飞利浦的，还是算比较老的仪器了，九几年的。。我们所的，上海微系统
赞一下 回复此楼
奋斗。。。
10楼2013-09-25 11:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 llyingann 的主题更新
161/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 材料专业求调剂 +6 hanamiko 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:24 by JourneyLucky
[考研] 287求调剂 +7 晨昏线与星海 2026-03-19 8/400 2026-03-20 22:19 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] A区线材料学调剂 +5 周周无极 2026-03-20 5/250 2026-03-20 21:33 by laoshidan
[考研] 319求调剂 +3 小力气珂珂 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:47 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
[基金申请] 学校已经提交到NSFC，还能修改吗？ 40+4 babangida 2026-03-19 8/400 2026-03-20 15:58 by babero
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +5 脱颖而出 2026-03-16 14/700 2026-03-20 09:30 by kkcoco25
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +9 一鸭鸭哟 2026-03-14 11/550 2026-03-19 17:22 by ！本暗一次！
[考研] 0854，计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿，福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[考研] 机械专硕325，寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油！? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭