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llyingann新虫 (正式写手)
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薄膜XRD需要多厚?
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| 薄膜想测XRD,我做的一般100nm一下,文献上都说进行多步沉积,增加膜厚,然后才能测XRD,为什么呢?要多厚呢?所谓的多步沉积是把样品取出来冲洗干净烘干后再次沉积嘛?谢谢 |
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gxytju2008
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7楼2013-09-24 11:14:50
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