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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜XRD需要多厚？
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llyingann

新虫 (正式写手)

[求助] 薄膜XRD需要多厚？

薄膜想测XRD，我做的一般100nm一下，文献上都说进行多步沉积，增加膜厚，然后才能测XRD，为什么呢？要多厚呢？所谓的多步沉积是把样品取出来冲洗干净烘干后再次沉积嘛？谢谢
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1楼2013-09-23 17:16:59
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lycid

禁虫 (著名写手)
★
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-09-24 11:50:02
本帖内容被屏蔽
7楼2013-09-24 11:14:50
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版做客， 2013-09-24 09:31:53
llyingann: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-09-24 09:33:28
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-09-23 23:01:46
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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我做的500nm，还行，也和测试设备有关
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-24 09:14:24
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llyingann

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-23 23:01:46
100nm不太行，信号不够，就算小角掠入射也太薄了点，一般比较强的信号的话，1微米比较好了，总之尽量厚点，也不一定要洗干净烘干，换反应液有时候就可以，自己摸索一下吧

谢谢～

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2013-09-24 09:32:23
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