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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜XRD需要多厚？
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寂寞流年

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-09-25 11:56:41
要是单晶才行吧。我们做的单晶，用的专门的单晶XRD，X‘pert 的四晶衍射仪，飞利浦的，还是算比较老的仪器了，九几年的。。我们所的，上海微系统...

谢谢啊，我这个是多晶的，我再问问清华那边吧
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11楼2013-09-25 12:18:09
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破晓初春

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我的外延膜40nm就可以测出来了，可能跟材料有关吧
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12楼2013-09-25 17:20:44
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boy小帅

木虫 (小有名气)
一般0.5到1微米左右，太薄晶格畸变过大，与实际偏离太大
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努力让知识实现它的价值
13楼2013-09-25 23:53:58
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锥鳖

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-09-24 12:50:50
我们做单晶外延的，基本在20nm以上就可以测出峰来。当然峰不是很锐，但是也可以说明问题了。。。

你好,请问你们具体是怎么测的?我们测时硅峰好大把薄膜峰都盖过了
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14楼2014-08-26 09:23:43
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 锥鳖 at 2014-08-26 09:23:43
你好,请问你们具体是怎么测的?我们测时硅峰好大把薄膜峰都盖过了...

因为我们的薄膜峰跟硅峰还是有一定距离，所以覆盖不了。你们的峰隔的很近？可以尝试把测试的精度调高试试
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奋斗。。。
15楼2014-08-26 10:32:40
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锥鳖

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2014-08-26 10:32:40
因为我们的薄膜峰跟硅峰还是有一定距离，所以覆盖不了。你们的峰隔的很近？可以尝试把测试的精度调高试试...

硅峰是在三十多和六十九有两个峰吗？？
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16楼2014-09-03 09:53:03
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