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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 关于台阶仪测量厚度的问题
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dingyy419

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于台阶仪测量厚度的问题

用磁控溅射方法制备薄膜，先是在硅片上镀Ti，然后在Ti上镀Co，都是10多纳米厚，如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度，镀膜的时候需要怎么做呢？
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1楼 2013-03-13 14:25:08
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
dingyy419: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-03-14 13:57:14
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳米的厚度，用台阶仪来测，误差会很大，因为已经接近台阶仪的分辨率的量级了。
建议找一个溅射设备上安装有膜厚监测仪的设备。膜厚监测仪用晶体振荡频率作为传感信号，灵敏度很高，理论上可达“埃”的量级。另外还是原位监测，更方便。
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2楼2013-03-13 19:48:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳 ...

楼上基本正解。最好是有光学轮廓仪之类可以测台阶的，方便，准确。
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3楼2013-03-13 19:58:11
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guoguixin1

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先在硅片上甩上光刻胶，然后镀膜，之后将胶剥下就可以测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-03-14 06:10:51
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dingyy419

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳 ...

谢谢你的帮助，可是没有带有膜厚监测仪的设备
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5楼2013-03-14 13:52:16
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wangbo1966

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dingyy419 at 2013-03-14 13:52:16
谢谢你的帮助，可是没有带有膜厚监测仪的设备...

没有膜厚检测仪，就用个笨办法：
分别镀带台阶的Ti膜和Co膜，要镀厚一些，时间长一些，这样用台阶仪测量的数据会准确些，然后用厚度除以时间，得出两种膜的沉积速率，然后镀你的样品，用沉积速率来估算各层所需的沉积时间。
但这里有个问题，就是薄膜在初始沉积阶段有一个形核时间，因此初始阶段的沉积速率与后面的不一定一致，因此如果你想要得到更精确的，还有一个更笨的办法：
用上一个笨办法估算的10纳米的沉积时间，交替沉积Ti和Co的多层膜，（自然也要遮出台阶），层数要多一些，厚一些，然后再用台阶仪测量，根据层数计算各层的厚度是否是10纳米，如果不是，调整单层的沉积时间，镀膜再测，直至测量计算的层厚正好为10纳米。
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6楼2013-03-15 00:53:16
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ludou2009

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by guoguixin1 at 2013-03-14 06:10:51
先在硅片上甩上光刻胶，然后镀膜，之后将胶剥下就可以测

我对楼主说的这个方法不太懂，能具体点吗？怎么将胶剥下，剥下后膜又转移到哪里了？
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7楼2013-10-23 16:21:44
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我就是me

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-13 19:58:11
楼上基本正解。最好是有光学轮廓仪之类可以测台阶的，方便，准确。...

您好，能介绍一下光学轮廓仪测台阶的原理吗
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踏实认真
8楼2016-04-22 10:47:04
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elastico

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳 ...

请问陪片一般用什么做呢？
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9楼2017-04-28 21:36:26
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