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佳好_悦缘金虫 (小有名气)
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测光刻胶厚度
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各位哥哥姐姐，小妹刚涉足微纳加工领域，最近在用匀胶机涂胶，但是不能测量光刻胶厚度，各位能否推荐一下有什么好的方法测胶厚，或是推荐下比较经济实惠的测胶厚的仪器。多谢了 |
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佳好_悦缘2楼2011-09-12 19:11:35
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4楼2011-09-13 08:29:41
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5楼2011-09-13 08:48:29
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平时做多了，用台阶仪测试，很简单的，几分钟就搞定~~ 只要厚度20nm以上的膜层（可以是光刻胶，也可以是其他介质或金属膜层）就能保证比较精确，测几百nm的光刻胶误差一般只有几个nm。 电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
6楼2011-09-13 22:55:59
quanten
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7楼2011-09-13 23:20:40
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