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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？ 已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-17 15:28:43
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

woody5532

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
正型光刻胶（正胶）一般由感光剂、高分子化合物（通常用线型酚醛树脂）、溶剂为主要成分及为了改善胶的某一方面性能所加入的添加剂组成。是一种曝光前后均可溶于碱的混合溶液，只是曝光部分和未曝光部分的溶解速度不一样，因此产生光刻图形。
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快乐的学习生活！
11楼2011-03-31 09:10:12
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普通回帖

zccken

木虫 (正式写手)
★ ★
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yunruirui(金币+1):谢谢交流回帖，欢迎常来 2010-07-17 17:55:54
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液
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2楼2010-07-17 17:00:03
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by zccken at 2010-07-17 17:00:03:
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液

正胶是这样么？
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微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-18 07:49:40
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
需要仔细了解光刻工艺   这个是很成熟

曝光后通常显影的时间很短，显影液通常是碱性
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4楼2010-07-20 09:10:17
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ffffjjjj

金虫 (著名写手)
★
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如果是正性光刻胶，那就应该是曝光的地方溶于碱液，未曝光的地方不溶解。
楼主最好是查阅光刻胶的用户手册，因为通常来说，溶解与不溶解都是相对的，我知道有一种正性光刻胶，0.5%NaOH水溶液是显影液，短时间浸泡是显影。而5%NaOH水溶液是去胶剂，略微长时间浸泡可以将未曝光区域的胶去除。所以，你这样泛泛的问，可能对你的光刻和显影没有实质性帮助。
我也是新手，说得不对的地方，还望指教。
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5楼2010-07-20 09:35:28
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by ffffjjjj at 2010-07-20 09:35:28:
如果是正性光刻胶，那就应该是曝光的地方溶于碱液，未曝光的地方不溶解。
楼主最好是查阅光刻胶的用户手册，因为通常来说，溶解与不溶解都是相对的，我知道有一种正性光刻胶，0.5%NaOH水溶液是显影液，短时间浸泡 ...

这个我赞同，我打听了好多的厂家都是不管曝光与否都溶于碱的，呵呵 谢谢
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微信公众号：zajiadabing
6楼2010-07-20 20:20:02
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xxhsang

木虫 (小有名气)
★
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显影只不过是采用低浓度的碱性溶液而已，你还可参考印刷行业PS版阳图型感光胶
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7楼2010-07-20 20:35:26
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by xxhsang at 2010-07-20 20:35:26:
显影只不过是采用低浓度的碱性溶液而已，你还可参考印刷行业PS版阳图型感光胶

印刷行业PS版阳图型感光胶 ?这个是什么？请赐教，感激不尽～
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微信公众号：zajiadabing
8楼2010-07-20 20:37:13
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xxhsang

木虫 (小有名气)
★
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PS即预涂感光版，用于平印，其方法是在铝板上先涂感光胶后烘干，便成商品。印刷厂购后在其上用菲林爆光，再在低碱性溶液即显影液中显影，无特别要求则直接用于印刷。这种感光胶有厂家单独售卖的，价格很便宜。你在网上找一下，调整粘度可用乙二醇乙醚，以前我做相关试验时用过，比光刻胶易操作
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9楼2010-07-20 21:16:55
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xxhsang

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
阳图型的与正性光刻胶原理一样，PS版经过烘烤，如用于实验，腐蚀完毕后5%NaOH轻易除去。
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10楼2010-07-20 21:20:53
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