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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？ 已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-17 15:28:43
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xxhsang

木虫 (小有名气)
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显影只不过是采用低浓度的碱性溶液而已，你还可参考印刷行业PS版阳图型感光胶
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7楼2010-07-20 20:35:26
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xxhsang

木虫 (小有名气)
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PS即预涂感光版，用于平印，其方法是在铝板上先涂感光胶后烘干，便成商品。印刷厂购后在其上用菲林爆光，再在低碱性溶液即显影液中显影，无特别要求则直接用于印刷。这种感光胶有厂家单独售卖的，价格很便宜。你在网上找一下，调整粘度可用乙二醇乙醚，以前我做相关试验时用过，比光刻胶易操作
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9楼2010-07-20 21:16:55
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xxhsang

木虫 (小有名气)
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阳图型的与正性光刻胶原理一样，PS版经过烘烤，如用于实验，腐蚀完毕后5%NaOH轻易除去。
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10楼2010-07-20 21:20:53
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