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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？ 已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-17 15:28:43
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by zccken at 2010-07-17 17:00:03:
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液

正胶是这样么？
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微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-18 07:49:40
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by ffffjjjj at 2010-07-20 09:35:28:
如果是正性光刻胶，那就应该是曝光的地方溶于碱液，未曝光的地方不溶解。
楼主最好是查阅光刻胶的用户手册，因为通常来说，溶解与不溶解都是相对的，我知道有一种正性光刻胶，0.5%NaOH水溶液是显影液，短时间浸泡 ...

这个我赞同，我打听了好多的厂家都是不管曝光与否都溶于碱的，呵呵 谢谢
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微信公众号：zajiadabing
6楼2010-07-20 20:20:02
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by xxhsang at 2010-07-20 20:35:26:
显影只不过是采用低浓度的碱性溶液而已，你还可参考印刷行业PS版阳图型感光胶

印刷行业PS版阳图型感光胶 ?这个是什么？请赐教，感激不尽～
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微信公众号：zajiadabing
8楼2010-07-20 20:37:13
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