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gamewang

木虫 (著名写手)

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[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？

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1楼 2010-07-17 15:28:43

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金虫 (著名写手)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

如果是正性光刻胶，那就应该是曝光的地方溶于碱液，未曝光的地方不溶解。
楼主最好是查阅光刻胶的用户手册，因为通常来说，溶解与不溶解都是相对的，我知道有一种正性光刻胶，0.5%NaOH水溶液是显影液，短时间浸泡是显影。而5%NaOH水溶液是去胶剂，略微长时间浸泡可以将未曝光区域的胶去除。所以，你这样泛泛的问，可能对你的光刻和显影没有实质性帮助。
我也是新手，说得不对的地方，还望指教。

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