应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
51/1返回列表
查看: 3340  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？ 已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-17 15:28:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ffffjjjj

金虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果是正性光刻胶，那就应该是曝光的地方溶于碱液，未曝光的地方不溶解。
楼主最好是查阅光刻胶的用户手册，因为通常来说，溶解与不溶解都是相对的，我知道有一种正性光刻胶，0.5%NaOH水溶液是显影液，短时间浸泡是显影。而5%NaOH水溶液是去胶剂，略微长时间浸泡可以将未曝光区域的胶去除。所以，你这样泛泛的问，可能对你的光刻和显影没有实质性帮助。
我也是新手，说得不对的地方，还望指教。
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2010-07-20 09:35:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

zccken

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢交流回帖，欢迎常来 2010-07-17 17:55:54
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-07-17 17:00:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by zccken at 2010-07-17 17:00:03:
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液

正胶是这样么？
回复此楼
微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-18 07:49:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
需要仔细了解光刻工艺   这个是很成熟

曝光后通常显影的时间很短，显影液通常是碱性
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-07-20 09:10:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 10:26 by JzYBbHIXWSrW
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 09:59 by JzYBbHIXWSrW
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 5/250 2026-09-29 09:52 by JzYBbHIXWSrW
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +5 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-29 09:24 by JzYBbHIXWSrW
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 09:18 by JzYBbHIXWSrW
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:42 by ZvyPK8n6Nfki
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:34 by ZvyPK8n6Nfki
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:28 by ZvyPK8n6Nfki
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:18 by ZvyPK8n6Nfki
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:46 by b8fCuTHqckEt
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:12 by b8fCuTHqckEt
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[有机交流] 同一个分子，一条来自文献，一条来自AI——不告诉你答案，你会选哪条？ +3 tianxiaoxian 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:44 by tianxiaoxian
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:28 by ez6fGg9abYaj
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 3/150 2026-09-28 22:21 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-28 19:08 by 9lS3ad5oOymn
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭