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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液??? 已有10人参与

我用正胶进行光刻,没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗???如果溶,那么后续工艺如何处理???
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微信公众号:zajiadabing
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woody5532

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
正型光刻胶(正胶)一般由感光剂、高分子化合物(通常用线型酚醛树脂)、溶剂为主要成分及为了改善胶的某一方面性能所加入的添加剂组成。是一种曝光前后均可溶于碱的混合溶液,只是曝光部分和未曝光部分的溶解速度不一样,因此产生光刻图形。
快乐的学习生活!
11楼2011-03-31 09:10:12
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zccken

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢交流回帖,欢迎常来 2010-07-17 17:55:54
曝光的地方会发生交联,就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液
2楼2010-07-17 17:00:03
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by zccken at 2010-07-17 17:00:03:
曝光的地方会发生交联,就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液

正胶是这样么?
微信公众号:zajiadabing
3楼2010-07-18 07:49:40
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
需要仔细了解光刻工艺   这个是很成熟

曝光后通常显影的时间很短,显影液通常是碱性
4楼2010-07-20 09:10:17
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