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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 测光刻胶厚度
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 测光刻胶厚度

各位哥哥姐姐，小妹刚涉足微纳加工领域，最近在用匀胶机涂胶，但是不能测量光刻胶厚度，各位能否推荐一下有什么好的方法测胶厚，或是推荐下比较经济实惠的测胶厚的仪器。多谢了
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1楼 2011-09-12 16:41:22
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xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:24
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:32
如果不要求很精确，直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定，另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪，价格在10万以下。台阶仪也可以，但价格根据各个厂家变化很大。
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佳好_悦缘
2楼2011-09-12 19:11:35
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kwxia

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:32
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:45
我们曾经是对它曝光，之后用AFM直接测高度……
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3楼2011-09-12 20:00:16
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangnan121 at 2011-09-12 19:11:35:
如果不要求很精确，直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定，另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪，价格在10万以下。台阶仪也可以，但价格根据各个厂家变化很大。

首先谢谢你的回复，如果是台阶仪的话，可不可以推荐一下呢
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4楼2011-09-13 08:29:41
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xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 佳好_悦缘 at 2011-09-13 08:29:41:
首先谢谢你的回复，如果是台阶仪的话，可不可以推荐一下呢

我们用的是前者，后者好的比较贵。
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5楼2011-09-13 08:48:29
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1fox

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
金光闪闪2010(金币-5): 广告 2011-09-14 08:43:59
平时做多了，用台阶仪测试，很简单的，几分钟就搞定~~
只要厚度20nm以上的膜层（可以是光刻胶，也可以是其他介质或金属膜层）就能保证比较精确，测几百nm的光刻胶误差一般只有几个nm。
电话：15108299816赵工   邮箱：zyy44138172@126.com
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6楼2011-09-13 22:55:59
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★ ★
金光闪闪2010(金币+2): Thank you for your advice 2011-09-14 08:03:14
1. 不同转速，不同胶体厚度是一定的
2.测量可以用椭偏仪，或者形成图案后用台阶仪，或AFM
通过以上即可得到厚度
AZ5214 4000rpm 1.4um
AZ5206 6000rpm 620nm
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佳好_悦缘
7楼2011-09-13 23:20:40
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by quanten at 2011-09-13 23:20:40:
1. 不同转速，不同胶体厚度是一定的
2.测量可以用椭偏仪，或者形成图案后用台阶仪，或AFM
通过以上即可得到厚度
AZ5214 4000rpm 1.4um
AZ5206 6000rpm 620nm

谢谢，不错的方法，可以考虑
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8楼2011-09-14 08:27:34
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tql2_0604

铜虫 (初入文坛)
同问。如果是十几微米怎么测？
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9楼2011-09-21 19:42:31
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asqin1945

木虫 (正式写手)
台阶仪，划个划痕测台阶深度
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10楼2012-02-15 14:57:47
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