应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 测光刻胶厚度
51/1返回列表
查看: 3435  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 测光刻胶厚度

各位哥哥姐姐，小妹刚涉足微纳加工领域，最近在用匀胶机涂胶，但是不能测量光刻胶厚度，各位能否推荐一下有什么好的方法测胶厚，或是推荐下比较经济实惠的测胶厚的仪器。多谢了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-09-12 16:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by quanten at 2011-09-13 23:20:40:
1. 不同转速，不同胶体厚度是一定的
2.测量可以用椭偏仪，或者形成图案后用台阶仪，或AFM
通过以上即可得到厚度
AZ5214 4000rpm 1.4um
AZ5206 6000rpm 620nm

谢谢，不错的方法，可以考虑
赞一下 回复此楼
8楼2011-09-14 08:27:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:24
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:32
如果不要求很精确，直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定，另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪，价格在10万以下。台阶仪也可以，但价格根据各个厂家变化很大。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

佳好_悦缘
2楼2011-09-12 19:11:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kwxia

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:32
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:45
我们曾经是对它曝光，之后用AFM直接测高度……
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-09-12 20:00:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangnan121 at 2011-09-12 19:11:35:
如果不要求很精确，直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定，另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪，价格在10万以下。台阶仪也可以，但价格根据各个厂家变化很大。

首先谢谢你的回复，如果是台阶仪的话，可不可以推荐一下呢
赞一下 回复此楼
4楼2011-09-13 08:29:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 26年申博自荐-计算机视觉 20+3 光亮我自己 2026-05-01 4/200 2026-05-03 09:01 by lfy8008
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-03 07:22 by jmr1kibhvw
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 3/150 2026-05-03 05:07 by jmr1kibhvw
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 4/200 2026-05-03 05:04 by jmr1kibhvw
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 4/200 2026-05-03 04:34 by w5idbsc3mz
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 4/200 2026-05-03 04:19 by w5idbsc3mz
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 4/200 2026-05-03 03:51 by w5idbsc3mz
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 k17zww5nna 2026-05-01 4/200 2026-05-03 02:06 by w5idbsc3mz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 k17zww5nna 2026-05-01 5/250 2026-05-03 02:04 by w5idbsc3mz
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 k17zww5nna 2026-05-01 5/250 2026-05-03 01:49 by w5idbsc3mz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 4/200 2026-05-03 01:34 by w5idbsc3mz
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qs8kylt1wr 2026-05-01 4/200 2026-05-03 00:00 by 火炎焱燚炙烤
[考博] 考博 +4 Eternitf 2026-04-29 4/200 2026-05-02 16:10 by yejenny
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:51 by zahslv263y
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 3/150 2026-05-02 14:21 by zahslv263y
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 3/150 2026-05-02 14:06 by zahslv263y
[考博] 药化及相关博士的申请 5+3 中药学渣 2026-04-29 3/150 2026-05-01 18:14 by babero
[有机交流] 一个化合物的合成路线：CAS:367929-02-0 名称：8β-乙烯基雌二醇 50+4 zhquanbing 2026-04-28 4/200 2026-04-30 22:45 by zyqchem
[文学芳草园] 太白金星有点烦 +3 yexuqing 2026-04-27 3/150 2026-04-30 21:56 by myrtle
[基金申请] 收到国自然专家邀请后几年才会有本子送过来评 +3 barley5 2026-04-30 3/150 2026-04-30 14:58 by aspect3000
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭