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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 测光刻胶厚度

各位哥哥姐姐,小妹刚涉足微纳加工领域,最近在用匀胶机涂胶,但是不能测量光刻胶厚度,各位能否推荐一下有什么好的方法测胶厚,或是推荐下比较经济实惠的测胶厚的仪器。多谢了
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


★ ★
金光闪闪2010(金币+2): Thank you for your advice 2011-09-14 08:03:14
1. 不同转速,不同胶体厚度是一定的
2.测量可以用椭偏仪,或者形成图案后用台阶仪,或AFM
通过以上即可得到厚度
AZ5214 4000rpm 1.4um
AZ5206 6000rpm 620nm

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7楼2011-09-13 23:20:40
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xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:24
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:32
如果不要求很精确,直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定,另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪,价格在10万以下。台阶仪也可以,但价格根据各个厂家变化很大。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2011-09-12 19:11:35
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kwxia

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:32
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:45
我们曾经是对它曝光,之后用AFM直接测高度……
3楼2011-09-12 20:00:16
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangnan121 at 2011-09-12 19:11:35:
如果不要求很精确,直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定,另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪,价格在10万以下。台阶仪也可以,但价格根据各个厂家变化很大。

首先谢谢你的回复,如果是台阶仪的话,可不可以推荐一下呢
4楼2011-09-13 08:29:41
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