24小时热门版块排行榜    

查看: 3817  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 测光刻胶厚度

各位哥哥姐姐,小妹刚涉足微纳加工领域,最近在用匀胶机涂胶,但是不能测量光刻胶厚度,各位能否推荐一下有什么好的方法测胶厚,或是推荐下比较经济实惠的测胶厚的仪器。多谢了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tql2_0604

铜虫 (初入文坛)

同问。如果是十几微米怎么测?
9楼2011-09-21 19:42:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:24
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:32
如果不要求很精确,直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定,另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪,价格在10万以下。台阶仪也可以,但价格根据各个厂家变化很大。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2011-09-12 19:11:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kwxia

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): welcome 2011-09-13 07:51:32
佳好_悦缘(金币+5): 多谢 2011-09-13 08:11:45
我们曾经是对它曝光,之后用AFM直接测高度……
3楼2011-09-12 20:00:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangnan121 at 2011-09-12 19:11:35:
如果不要求很精确,直接根据光刻胶生产厂家提供的转速与较厚之间的关系确定,另外也可以借助 Filmetrics公司的F20薄膜测量仪,价格在10万以下。台阶仪也可以,但价格根据各个厂家变化很大。

首先谢谢你的回复,如果是台阶仪的话,可不可以推荐一下呢
4楼2011-09-13 08:29:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[基金申请] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了,离AI做有机合成还有多远? +3 wangyl_123 2026-10-10 6/300 2026-10-11 15:04 by Abin0406
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷!
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么? +3 好运来~9527 2026-10-10 5/250 2026-10-11 09:00 by 好运来~9527
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬,路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费,对账才发现官费比别人多掏了一倍 +5 13108017953 2026-10-08 5/250 2026-10-10 11:15 by wdwd123
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些? +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
请填处理意见