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dingyy419

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于台阶仪测量厚度的问题

用磁控溅射方法制备薄膜,先是在硅片上镀Ti,然后在Ti上镀Co,都是10多纳米厚,如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度,镀膜的时候需要怎么做呢?
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guoguixin1

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先在硅片上甩上光刻胶,然后镀膜,之后将胶剥下就可以测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-03-14 06:10:51
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