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dingyy419铜虫 (初入文坛)
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[求助]
关于台阶仪测量厚度的问题
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| 用磁控溅射方法制备薄膜,先是在硅片上镀Ti,然后在Ti上镀Co,都是10多纳米厚,如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度,镀膜的时候需要怎么做呢? |
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4楼2013-03-14 06:10:51









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