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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 膜厚度的测量问题
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天河9500

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 膜厚度的测量问题

大家好
我用旋转涂布仪涂布，经溶剂挥发后制膜，所成的膜大约能在5um左右，一般的测厚规无法测量这么小的厚度，我的基片采用的是盖玻片或者聚酯胶片，均为透明的。请问有没有什么好的方法或者仪器来测量膜厚吗？
PS：市售的膜厚测试仪感觉可以达到目的，不知道还有没有其他的仪器，如果实在没有那市售的膜厚测试仪价格大约多少一台？我查了价格好像没找到。
非常感谢
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热爱高分子的化工搬砖工，希望能和同样热爱研发的同行们交流学习。。
1楼 2011-05-29 22:09:33
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mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

天河9500(金币+5): 谢谢，这个很贵吗？大概多少钱？ 2011-05-30 18:26:21
如果经费充足的话，可以购买原子力显微镜
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2楼2011-05-29 22:33:50
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小新8158

木虫 (著名写手)

铁杆木虫

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 鼓励交流，比较符合~除此之外可以做个台阶测试，用台阶仪可以准确的得到膜厚的信息~ 2011-05-30 08:44:05
天河9500(金币+5): 谢谢！扫描电镜肯定可以的，但仅为测膜厚做扫描电镜不划算，我这个膜暂不需要考察表面及断面情况。 2011-05-30 18:30:05
如果条件允许，可以考虑下做截面的扫描电镜
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嘿嘿-木虫啦-BB已经是浮云了O(∩_∩)O
3楼2011-05-29 23:03:55
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dxgdongdong

银虫 (小有名气)
有专门的薄膜测厚仪啊,价格大约10万
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4楼2011-12-07 10:46:20
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wxjabc

金虫 (小有名气)
做扫描电镜很好的
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5楼2011-12-09 19:12:27
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yangguang53

金虫 (小有名气)
★
nofrunolif(金币+1): 鼓励交流 2011-12-10 13:07:22
这类仪器有两种，一般比较贵，适合你的好像叫椭圆偏振仪，F20系列的，国内就有卖的，国外大约10万人民币多一点，你在国内买大约不到20万人民币。台阶仪好像也可以，不过就贵了。还有一种仪器更好，不过你没必要用那么好的了？顺便问一下，你是研究哪个方向的？
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6楼2011-12-10 10:52:01
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)
★
nofrunolif(金币+1): 鼓励交流 2011-12-10 13:07:29
5微米的薄膜，做个扫描电镜截面很容易测出膜厚啊。
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7楼2011-12-10 12:24:36
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草叶虫

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by 天河9500 at 2011-05-29 22:09:33:
大家好
我用旋转涂布仪涂布，经溶剂挥发后制膜，所成的膜大约能在5um左右，一般的测厚规无法测量这么小的厚度，我的基片采用的是盖玻片或者聚酯胶片，均为透明的。请问有没有什么好的方法或者仪器来测量膜厚吗？ ...

用扫描电镜测截面形貌，同时也可以测出膜厚。或者用台阶仪。但是用后者的话，膜和基底必须有明显的台阶才可以，这就要求制备的时候动动脑筋。
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8楼2011-12-10 19:59:10
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sea_wind

铜虫 (小有名气)
轮廓仪（也叫台阶仪），椭偏仪，原子力显微镜，白光干涉仪都可以，各自有各自的优势。
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9楼2012-03-22 14:37:14
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shenglaoji

新虫 (初入文坛)
台阶仪，我这里能测。
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10楼2013-07-06 23:58:53
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