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我要做实验

铜虫 (小有名气)

[求助] 霍尔系统测试薄膜的问题 已有1人参与

请教各位虫友们,
1在霍尔测试时,设定的薄膜厚度比实际的薄膜厚度大的话,测量结果中的电阻率会偏大还是偏小?如何纠正回来?还有这种设置会对载流子浓度与霍尔迁移率造成什么影响?会变大、变小还是 不变?
2.霍尔测量中的内部原理是什么?就是测试结果中给出的那些数值之间都是什么关系,比如电阻率、方阻、迁移率、载流子浓度等?】
望各位虫友不吝赐教!小虫我在这里谢过各位了!
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于士辉

木虫 (文坛精英)


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感谢参与,应助指数 +1
sddtc888: 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-06 08:25:25
1.比实际薄膜厚测出的电阻率很偏大.纠正方法就是测出来的电阻率*实际厚度/设定厚度=实际电阻率。对霍尔迁移率没有影响,对载流子浓度有影响,载流子浓度会偏小,测出的载流子浓度*设定厚度/实际厚度=实际载流子浓度。
2.霍尔测量的原理可以查阅半导体物理相关书籍,上面很详细介绍,主要就是在磁场作用下电子的移动。电阻率=1/(载流子浓度*迁移率*e),方电阻约等于电阻率/薄膜厚度。
2楼2014-03-05 18:06:20
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于士辉

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖


sddtc888: 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-06 08:25:30
有什么不清楚的可以和我讨论,我也是做半导体薄膜材料的,做了四五年了.
3楼2014-03-05 18:07:35
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want1

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 于士辉 at 2014-03-05 18:07:35
有什么不清楚的可以和我讨论,我也是做半导体薄膜材料的,做了四五年了.

你好,想问下,测霍尔如何做电极比较好
4楼2014-04-06 14:00:31
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