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[交流]
半导体薄膜测量霍尔效应
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我想问一下,薄膜用霍尔效应仪测试,对电极形状、分布有什么要求?谢谢!基片大小为5mmx5mm的绝缘体。 [ Last edited by wiseroy on 2011-7-16 at 13:14 ] |
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13楼2011-07-20 22:02:19
20楼2011-09-09 15:41:26
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
| 范德堡法测电阻率什么的当然是可以的,你上维基上一搜便知道。对于你这种样品,我觉得有几点要注意。1.最好切成矩形,有很规则的长宽比。2.电极点在样品的四个角上,尽可能小。3需要测量霍尔信号的话可能只点四个点不够,可以在矩形的对边中点点出电极探测霍尔信号。4所谓的霍尔测量,他的本意当然指的是二维体系中的,也就是说你的薄膜当然是越薄越好。我估计既然你说了你们是薄膜样品,那么他的二维性还是可以保证的,你不能拿着一块明显是长方体的样品说它是薄膜吧。5绝缘衬底对信号有影响是肯定的,但是否不可用取决于你最后得到的数据是否能够证实你想说的东西。如果可以,有一些其他信号也是可以接受的。适当的减小测量电流可能可以解决衬底信号问题。 |
26楼2013-06-26 22:05:32
2楼2011-07-16 20:09:38
3楼2011-07-16 20:17:21
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