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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 半导体薄膜测量霍尔效应

我想问一下，薄膜用霍尔效应仪测试，对电极形状、分布有什么要求？谢谢！基片大小为5mmx5mm的绝缘体。

[ Last edited by wiseroy on 2011-7-16 at 13:14 ]

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1楼 2011-07-16 13:07:13

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dabingbxm

铁虫 (小有名气)

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★
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范德堡法测电阻率什么的当然是可以的，你上维基上一搜便知道。对于你这种样品，我觉得有几点要注意。1.最好切成矩形，有很规则的长宽比。2.电极点在样品的四个角上，尽可能小。3需要测量霍尔信号的话可能只点四个点不够，可以在矩形的对边中点点出电极探测霍尔信号。4所谓的霍尔测量，他的本意当然指的是二维体系中的，也就是说你的薄膜当然是越薄越好。我估计既然你说了你们是薄膜样品，那么他的二维性还是可以保证的，你不能拿着一块明显是长方体的样品说它是薄膜吧。5绝缘衬底对信号有影响是肯定的，但是否不可用取决于你最后得到的数据是否能够证实你想说的东西。如果可以，有一些其他信号也是可以接受的。适当的减小测量电流可能可以解决衬底信号问题。