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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】测量半导体薄膜的带隙 已有13人参与

高手们总结一下测量半导体薄膜的带隙的实验方法~~~~
对于生长在不透明衬底上的半导体,带隙如何测量啊?
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天行健,君子以自强不息~~~~~
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issp_summer

金虫 (小有名气)

★
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如果衬底与薄膜的带隙相差较大,可以用光吸收的方法,
如果薄膜的带隙很大,可以采用紫外光吸收的方法,

另外 你也可以通过椭圆偏振仪测量, 根据你所采用的拟合方式的差别, 可以直接读出带隙, 但是更准确的方法你可以先得到薄膜的消光系数,然后推出光学带隙

通过薄膜反射谱的方法测量, 我认为精确度没有椭圆偏振仪和光吸收方法的高
11楼2010-05-28 13:19:13
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普通回帖

hezongl

金虫 (正式写手)

元小雪:可以上传到纳米盘 2010-05-28 09:13:09
一种测量半导体薄膜材料光学带隙的新方法
申请号/专利号: 200910089681
本发明属于半导体薄膜检测领域,特别涉及一种测量半导体薄膜材料光学带隙的方法。本发明从结果拟合角度对透射和反射光谱进行解谱分析,求出准确的吸收系数,在此基础上采用Tauc公式求出准确的光学带隙。本发明方法对现有技术所存在的问题进行了严格的计算分析和处理,可以消除光在膜基系统的反射对透射的影响和衬底的吸收对透射的影响这两个问题造成的误差,使光学带隙的准确程度大幅提高。

斑竹自己可以在网络上下载,提供一个下载专利的网址,输入申请号就可以:
http://www.drugfuture.com/cnpat/cn_patent.asp
懂得选择,学会放弃。经得起诱惑,耐得住寂寞!
2楼2010-05-27 19:32:32
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匿名

用户注销 (文坛精英)

★
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本帖仅楼主可见
3楼2010-05-27 21:33:40
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M.K

木虫 (正式写手)

★
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透射(envelope method),透射/反射谱, 椭偏谱,
魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
4楼2010-05-27 23:58:21
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★
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所用的Tauc公式本身就有很多种条件导致系数不同,这个专利是怎么解决的?
引用回帖:
Originally posted by hezongl at 2010-05-27 19:32:32:
一种测量半导体薄膜材料光学带隙的新方法
申请号/专利号: 200910089681
本发明属于半导体薄膜检测领域,特别涉及一种测量半导体薄膜材料光学带隙的方法。本发明从结果拟合角度对透射和反射光谱进行解谱分析,求 ...

5楼2010-05-28 00:24:35
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
光热偏转谱(PDS)可以测试,不受衬底的影响。
6楼2010-05-28 00:26:45
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hezongl

金虫 (正式写手)

★
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引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-05-28 00:24:35:
所用的Tauc公式本身就有很多种条件导致系数不同,这个专利是怎么解决的?



你可以下载来看看,普通网络就能下到,不用专业数据库
懂得选择,学会放弃。经得起诱惑,耐得住寂寞!
7楼2010-05-28 08:33:37
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yjyang07

木虫 (著名写手)

谢谢大家好建议
天行健,君子以自强不息~~~~~
8楼2010-05-28 08:47:44
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元小雪

木虫 (职业作家)

★
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就做个光电子能谱不就行了吗
无聊的博士
9楼2010-05-28 09:13:36
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yjyang07

木虫 (著名写手)

光电子能谱的峰很宽,没法确定具体的能量啊?、
天行健,君子以自强不息~~~~~
10楼2010-05-28 09:41:40
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