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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】测量半导体薄膜的带隙
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issp_summer

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果衬底与薄膜的带隙相差较大,可以用光吸收的方法,
如果薄膜的带隙很大,可以采用紫外光吸收的方法,

另外 你也可以通过椭圆偏振仪测量, 根据你所采用的拟合方式的差别, 可以直接读出带隙, 但是更准确的方法你可以先得到薄膜的消光系数,然后推出光学带隙

通过薄膜反射谱的方法测量, 我认为精确度没有椭圆偏振仪和光吸收方法的高
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11楼2010-05-28 13:19:13
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by issp_summer at 2010-05-28 13:19:13:
如果衬底与薄膜的带隙相差较大,可以用光吸收的方法,
如果薄膜的带隙很大,可以采用紫外光吸收的方法,

另外 你也可以通过椭圆偏振仪测量, 根据你所采用的拟合方式的差别, 可以直接读出带隙, 但是更准确的方法你 ...

同意楼上的观点 很好 thank you
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天行健，君子以自强不息～～～～～
12楼2010-05-28 22:03:40
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
PL啊，但是要有设备。
你也可以测T%,来计算出来。
我一直在用啊
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13楼2010-07-10 11:14:59
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-07-10 11:14:59:
PL啊，但是要有设备。
你也可以测T%,来计算出来。
我一直在用啊

是薄膜 衬底是不是有影响啊？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
14楼2010-07-10 11:21:19
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
PL的方法是没有关系的。
用T%换算的时候，substrate是要扣除的。
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15楼2010-07-10 15:16:27
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yjyang07

木虫 (著名写手)
好的 谢谢了
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天行健，君子以自强不息～～～～～
16楼2010-07-11 09:48:29
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diamondfire

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用IPE测，非常准。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
17楼2010-07-13 13:07:26
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pear2030

木虫 (著名写手)
我有个疑问，椭偏仪的测试不是要求是透明的衬底吗？
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18楼2010-07-15 00:38:07
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zhen2472

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by issp_summer at 2010-05-28 13:19:13
如果衬底与薄膜的带隙相差较大,可以用光吸收的方法,
如果薄膜的带隙很大,可以采用紫外光吸收的方法,

另外 你也可以通过椭圆偏振仪测量, 根据你所采用的拟合方式的差别, 可以直接读出带隙, 但是更准确的方法你可 ...

你好 那个通过外推法得到禁带宽度的方法的图是怎么测出来的？hv-（αhv）2图
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19楼2013-06-02 20:28:09
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jinlujie

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by hezongl at 2010-05-27 19:32:32
一种测量半导体薄膜材料光学带隙的新方法
申请号/专利号： 200910089681
本发明属于半导体薄膜检测领域，特别涉及一种测量半导体薄膜材料光学带隙的方法。本发明从结果拟合角度对透射和反射光谱进行解谱分析，求出 ...

你好！这个专利好像现在不能用了，是吗？
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20楼2014-07-17 17:48:45
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