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我要做实验

铜虫 (小有名气)

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[求助] 霍尔系统测试薄膜的问题已有1人参与

请教各位虫友们，
1在霍尔测试时，设定的薄膜厚度比实际的薄膜厚度大的话，测量结果中的电阻率会偏大还是偏小？如何纠正回来？还有这种设置会对载流子浓度与霍尔迁移率造成什么影响？会变大、变小还是不变？
2.霍尔测量中的内部原理是什么？就是测试结果中给出的那些数值之间都是什么关系，比如电阻率、方阻、迁移率、载流子浓度等？】
望各位虫友不吝赐教！小虫我在这里谢过各位了！

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1楼2014-03-05 15:59:52

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于士辉

木虫 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

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sddtc888: 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2014-03-06 08:25:25

1.比实际薄膜厚测出的电阻率很偏大.纠正方法就是测出来的电阻率*实际厚度/设定厚度=实际电阻率。对霍尔迁移率没有影响，对载流子浓度有影响，载流子浓度会偏小，测出的载流子浓度*设定厚度/实际厚度=实际载流子浓度。
2.霍尔测量的原理可以查阅半导体物理相关书籍，上面很详细介绍，主要就是在磁场作用下电子的移动。电阻率=1/(载流子浓度*迁移率*e)，方电阻约等于电阻率/薄膜厚度。