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hbf

金虫 (著名写手)

[交流] 四探针方法测试薄膜的面电阻问题

四探针方法测试薄膜的面电阻，4个探针很难保证与薄膜表面有良好的接触，那么，需要在薄膜表面上制备电极么，然后再把探针头放在四个小的电极上，各位大虾在利用四探针测试薄膜的面电阻时，都是如何保证探针和薄膜表面接触性问题的，希望不吝赐教
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1楼 2012-09-16 14:34:05
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

laserchen

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
四探针法测薄膜的电阻无需用电极，直接接触样品即可。实际上，四探针法通常主要用来测电导率比较大的样品，之所以用四探针就是因为薄膜本身电阻小，此方法可以消除探针与薄膜之间的接触电阻，从而测到薄膜真正的电阻率，具体原理请参考任何一本关于四探针方法的书或文献。因此，无需制备电极以减小接触。实际上，如果制备电极就会使接触变为非点接触，从而改变四探针方法所依赖的模型，反而会带来更大的误差。
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13楼2014-05-13 17:19:13
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bqian1

木虫 (著名写手)
★ ★
hbf(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-19 07:54:56
首先要清晰样品，表面没有污垢，然后又几种办法可以参考：一、直接点铟，要求样品相对比较坚固，二、可以用普通银胶，三可以用AB银胶1:1混合，如果烘烤，如果样品小，可以先点金线，再点铜线
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5楼2012-09-17 08:10:24
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普通回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★
hbf(金币+1): 谢谢参与
按照仪器的操作说明，抵消探针与薄膜的接触势垒
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2楼2012-09-16 18:03:27
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yueeryjf

银虫 (小有名气)
★
hbf(金币+1): 谢谢参与
请问你的薄膜是什么材质的？
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3楼2012-09-16 21:45:02
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chemlh

荣誉版主 (著名写手)
★
hbf(金币+1): 谢谢参与
?? ??
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4楼2012-09-17 07:19:39
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feisiyan

铁虫 (初入文坛)
★ ★
hbf(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-19 07:55:18
这要看你做的薄膜是什么材质的 既然要测电阻 必然具有一定的导电性 我做的材料不用在上边度电极 直接将探针接触测就可以
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6楼2012-09-18 15:12:39
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feisiyan

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这要看你做的薄膜是什么材质的 既然要测电阻 必然具有一定的导电性 我做的材料不用在上边度电极 直接将探针接触测就可以
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7楼2012-09-18 15:19:07
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hbf

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by feisiyan at 2012-09-18 15:12:39
这要看你做的薄膜是什么材质的 既然要测电阻 必然具有一定的导电性 我做的材料不用在上边度电极 直接将探针接触测就可以

半导体薄膜，方阻比较大，
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8楼2012-09-19 20:08:19
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hbf

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bqian1 at 2012-09-17 08:10:24
首先要清晰样品，表面没有污垢，然后又几种办法可以参考：一、直接点铟，要求样品相对比较坚固，二、可以用普通银胶，三可以用AB银胶1:1混合，如果烘烤，如果样品小，可以先点金线，再点铜线

半导体薄膜，方阻比较大
问题是四探针间距很小，做了电极以后，不容易放上去，要做引线，这样误差大么，求指 教
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9楼2012-09-19 20:11:37
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zcq4891

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
四根探针间距仅仅1mm，要做铟电极之类是不是太难了。有条件的就换一种方法测试，直接做霍尔测试，方便做电极，也准确一些，载流子浓度等等都有了
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10楼2012-11-30 15:55:38
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似水流年123

金虫 (著名写手)
??
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11楼2012-12-06 18:02:24
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酒肉和尚

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by zcq4891 at 2012-11-30 15:55:38
四根探针间距仅仅1mm，要做铟电极之类是不是太难了。有条件的就换一种方法测试，直接做霍尔测试，方便做电极，也准确一些，载流子浓度等等都有了

霍尔效应仪测半导体薄膜的话，也要保证良好的欧姆接触，直接探针接触是不行的，也需要做做电极的。
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12楼2014-04-14 19:50:40
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bluegenes

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
四探针不需要做电极，直接压上去就可以
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14楼2022-03-10 13:44:53
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