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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【原创】关于四探针测半导体薄膜电阻率的问题
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槟榔OE

新虫 (初入文坛)

[交流] 【原创】关于四探针测半导体薄膜电阻率的问题 已有10人参与

最近需要测一个厚度为200nm的薄膜电阻率，所用仪器为RTS-8型四探针测试仪。由于该仪器测薄层电阻的最后分辨厚度为1um，所以不能直接测量该薄层的电阻率。在网上百度，谷歌了一下，09年有一位lonqiao虫友也遇到和我一样的问题，并在该论坛金属板块求助，结果没有人准确回答该问题。后来我直接电联四探针科技客服，得到答复如下，希望对各位虫友有所帮助：
对于膜厚1um以下的薄膜，先测量薄层的方块电阻，然后再用方块电阻乘以厚度得出电阻率。
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1楼 2010-09-07 11:07:24
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zb112358-xxx

金虫 (小有名气)

小木虫
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受教了，谢谢楼主，我们以后也会用到，目前采购的是台湾德技德仪的设备
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尊重科学
2楼2010-10-29 10:57:13
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yn6319

金虫 (小有名气)
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[quote]Originally posted by 槟榔OE at 2010-09-07 11:07:24:
最近需要测一个厚度为200nm的薄膜电阻率，所用仪器为RTS-8型四探针测试仪。由于该仪器测薄层电阻的最后分辨厚度为1um，所以不能直接测量该薄层的电阻率。在网上百度，谷歌了一下，09年有一位lonqiao虫友也遇到和我 ... [/quote
请教，怎样测，计算直径修正因子怎么算
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3楼2010-12-09 10:23:07
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love5005

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们刚联系要买一台，看来是不行啦！！！
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4楼2011-03-11 10:12:18
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jilingli

禁虫 (小有名气)
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本帖内容被屏蔽
5楼2011-04-08 15:28:50
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_强鹏

银虫 (初入文坛)
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内容已删除
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6楼2012-11-18 13:01:11
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曦语ing

金虫 (小有名气)
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我想问一下楼主，薄层方块电阻测量时需要输入参数直径，要是样品不是圆形（如方形等）的话，这个直径怎么算
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7楼2013-04-27 10:46:26
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lwj1024

木虫 (小有名气)
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请问哪里可以测试？谢谢，我也想测薄膜的电阻率
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8楼2013-11-18 17:49:38
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by _强鹏 at 2012-11-18 13:01:11
薄膜的方阻怎么测得，还有现在我测得薄膜是多层的，这样用四探针针法直接测的值是什么值？怎么测每一层的电阻率？求大神指导！

您好，不知道您这个每层电阻率的问题最后怎么解决的
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加油
9楼2013-12-27 11:27:25
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bluegenes

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
四探针对样品厚度并没有限制，只是测量范围有限。对于薄膜样品，电阻率ρ=Rs*d，Rs是方阻，d是厚度
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www.qiushan-tech.com
10楼2022-03-10 13:49:56
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