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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】四端法测薄膜半导体电阻
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muchongzq

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】四端法测薄膜半导体电阻

小虫化学出身，最近想用四端法测半导体的电阻率，是个薄膜，厚度跟纸差不多，平面尺寸在厘米量级，有以下问题想请教：
1。我想先在膜上蒸镀金属，再引出导线跟测量仪器连接，这样电流注入就不是点了，需要修正吗，怎样修正呢？（6个金币）
2。四端法从原理上讲，需要四个电极等间距分布吗？实际上不等间距分布会有影响吗？（3个金币）
敬请大家帮助！！
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1楼 2010-12-26 11:08:58
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

whngdfa

木虫 (小有名气)
muchongzq(金币+4): 2010-12-26 15:39:41
如果自己测的话，建议用范德堡法，在正方形的四个角上做四个电极就行了，只需要一个稳压源，一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外，电极可以直接用In球，拿烙铁焊上去就行了，弄好后检查一下欧姆接触，蒸镀太麻烦，且容易做得太大
如果薄膜厚度已知且均匀的话，可以直接测方块电阻，乘以厚度就是电阻率了，这个方法一般误差不会超过一个量级，还比较准

[ Last edited by whngdfa on 2010-12-26 at 14:50 ]
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4楼2010-12-26 14:47:46
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
muchongzq(金币+2): 2010-12-26 14:06:58
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。
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2楼2010-12-26 11:32:23
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muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by nzhth at 2010-12-26 11:32:23:
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。

谢谢啊，可是我们这没有专门的仪器，只有测电阻的老机子，伸出四个夹子，“为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的”可否再详细一点呢
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3楼2010-12-26 14:11:53
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muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 14:47:46:
如果自己测的话，建议用范德堡法，在正方形的四个角上做四个电极就行了，只需要一个稳压源，一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外，电极可以直接用In球，拿烙铁焊上去就行了，弄好后检查一下 ...

谢谢！您说蒸镀容易弄得太大，是不是四探针法原理上要求点接触呢？
我如果要测方块电阻，应该怎么操作呢，是用范德堡法么，还是有别的方法？
谢谢您！
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5楼2010-12-26 15:44:58
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whngdfa

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
muchongzq(金币+3): 2010-12-26 16:02:34
小木虫:)(金币+5):3q 2010-12-27 04:50:39
引用回帖:
Originally posted by muchongzq at 2010-12-26 15:44:58:


谢谢！您说蒸镀容易弄得太大，是不是四探针法原理上要求点接触呢？
我如果要测方块电阻，应该怎么操作呢，是用范德堡法么，还是有别的方法？
谢谢您！

范德堡法和四探针，理论上都要求点接触
还是那个问题，你的薄膜厚度是否可知，均匀性如何
如果厚度已知，且均匀性较好，可以直接在薄膜上做两个长度相同的条状电极，使两间距和它们的长度一样(也就是说两电极之间是个正方形)，直接测两电极之间的电阻就行了，这个就是方块电阻了，然后乘以薄膜厚度就是电阻率
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6楼2010-12-26 15:56:38
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muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 15:56:38:


范德堡法和四探针，理论上都要求点接触
还是那个问题，你的薄膜厚度是否可知，均匀性如何
如果厚度已知，且均匀性较好，可以直接在薄膜上做两个长度相同的条状电极，使两间距和它们的长度一样(也就是说两电 ...

非常感谢！我的薄膜大概可以满足要求，只是做两个条状电极就是说我要用两探针法测了吧？蒸上电极希望可以得到欧姆接触和小的接触电阻，因为我做的是有机材料的半导体薄膜。谢谢了！
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7楼2010-12-26 16:07:03
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whngdfa

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by muchongzq at 2010-12-26 16:07:03:



非常感谢！我的薄膜大概可以满足要求，只是做两个条状电极就是说我要用两探针法测了吧？蒸上电极希望可以得到欧姆接触和小的接触电阻，因为我做的是有机材料的半导体薄膜。谢谢了！

不客气

条状电极尽量窄一些，长一些(就是正方形面积尽量大一些)~
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8楼2010-12-26 16:12:30
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muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 16:12:30:


不客气

条状电极尽量窄一些，长一些(就是正方形面积尽量大一些)~

thanks a lot!
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9楼2010-12-26 16:19:14
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huyifeng

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我的做法是首先在Si片上镀一层金，然后盖住一角作为底电极的引出端，再镀100nm左右的半导体膜，然后再盖上掩膜板镀金作为上电极，可是最后一测上下电极总是导通的，不知怎么回事，谁有更好的办法啊
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10楼2012-03-09 14:41:12
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5): 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by huyifeng at 2012-03-09 14:41:12:
我的做法是首先在Si片上镀一层金，然后盖住一角作为底电极的引出端，再镀100nm左右的半导体膜，然后再盖上掩膜板镀金作为上电极，可是最后一测上下电极总是导通的，不知怎么回事，谁有更好的办法啊

Si不是导电的嘛，镀一层金测什么？上电极也要印出端
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11楼2012-03-13 13:53:38
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战神归位

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你可以用Hall测啊
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12楼2012-08-31 10:48:45
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1957445楼: Originally posted by huyifeng at 2012-03-09 14:41:12
我的做法是首先在Si片上镀一层金，然后盖住一角作为底电极的引出端，再镀100nm左右的半导体膜，然后再盖上掩膜板镀金作为上电极，可是最后一测上下电极总是导通的，不知怎么回事，谁有更好的办法啊

侧面导通了吧  磨一下
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13楼2013-01-23 11:08:13
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lmcr

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问如何测欧姆接触？
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14楼2013-03-29 23:29:08
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差点儿就帅了

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by dgz5530739 at 2013-01-23 11:08:13
侧面导通了吧  磨一下...

请问用什么磨？
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15楼2013-07-10 09:56:34
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