24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 3003  |  回复: 14

muchongzq

木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】四端法测薄膜半导体电阻

小虫化学出身,最近想用四端法测半导体的电阻率,是个薄膜,厚度跟纸差不多,平面尺寸在厘米量级,有以下问题想请教:
1。我想先在膜上蒸镀金属,再引出导线跟测量仪器连接,这样电流注入就不是点了,需要修正吗,怎样修正呢?(6个金币)
2。四端法从原理上讲,需要四个电极等间距分布吗?实际上不等间距分布会有影响吗?(3个金币)
敬请大家帮助!!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

半导体技术 薄膜电阻率测试仪

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

whngdfa

木虫 (小有名气)


muchongzq(金币+4): 2010-12-26 15:39:41
如果自己测的话,建议用范德堡法,在正方形的四个角上做四个电极就行了,只需要一个稳压源,一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外,电极可以直接用In球,拿烙铁焊上去就行了,弄好后检查一下欧姆接触,蒸镀太麻烦,且容易做得太大
如果薄膜厚度已知且均匀的话,可以直接测方块电阻,乘以厚度就是电阻率了,这个方法一般误差不会超过一个量级,还比较准

[ Last edited by whngdfa on 2010-12-26 at 14:50 ]
4楼2010-12-26 14:47:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

nzhth

至尊木虫 (文坛精英)


muchongzq(金币+2): 2010-12-26 14:06:58
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器,为了方便计算,要求等距。如果你子组装的话,结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外,不用引电极,直接在表面测即可啊。
2楼2010-12-26 11:32:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by nzhth at 2010-12-26 11:32:23:
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器,为了方便计算,要求等距。如果你子组装的话,结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外,不用引电极,直接在表面测即可啊。

谢谢啊,可是我们这没有专门的仪器,只有测电阻的老机子,伸出四个夹子,“为了方便计算,要求等距。如果你子组装的话,结果不会很准的”可否再详细一点呢
3楼2010-12-26 14:11:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 14:47:46:
如果自己测的话,建议用范德堡法,在正方形的四个角上做四个电极就行了,只需要一个稳压源,一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外,电极可以直接用In球,拿烙铁焊上去就行了,弄好后检查一下 ...

谢谢!您说蒸镀容易弄得太大,是不是四探针法原理上要求点接触呢?
我如果要测方块电阻,应该怎么操作呢,是用范德堡法么,还是有别的方法?
谢谢您!
5楼2010-12-26 15:44:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whngdfa

木虫 (小有名气)


★ ★ ★ ★ ★
muchongzq(金币+3): 2010-12-26 16:02:34
小木虫:)(金币+5):3q 2010-12-27 04:50:39
引用回帖:
Originally posted by muchongzq at 2010-12-26 15:44:58:


谢谢!您说蒸镀容易弄得太大,是不是四探针法原理上要求点接触呢?
我如果要测方块电阻,应该怎么操作呢,是用范德堡法么,还是有别的方法?
谢谢您!

范德堡法和四探针,理论上都要求点接触
还是那个问题,你的薄膜厚度是否可知,均匀性如何
如果厚度已知,且均匀性较好,可以直接在薄膜上做两个长度相同的条状电极,使两间距和它们的长度一样(也就是说两电极之间是个正方形),直接测两电极之间的电阻就行了,这个就是方块电阻了,然后乘以薄膜厚度就是电阻率
6楼2010-12-26 15:56:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 15:56:38:


范德堡法和四探针,理论上都要求点接触
还是那个问题,你的薄膜厚度是否可知,均匀性如何
如果厚度已知,且均匀性较好,可以直接在薄膜上做两个长度相同的条状电极,使两间距和它们的长度一样(也就是说两电 ...

非常感谢!我的薄膜大概可以满足要求,只是做两个条状电极就是说我要用两探针法测了吧?蒸上电极希望可以得到欧姆接触和小的接触电阻,因为我做的是有机材料的半导体薄膜。谢谢了!
7楼2010-12-26 16:07:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whngdfa

木虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by muchongzq at 2010-12-26 16:07:03:



非常感谢!我的薄膜大概可以满足要求,只是做两个条状电极就是说我要用两探针法测了吧?蒸上电极希望可以得到欧姆接触和小的接触电阻,因为我做的是有机材料的半导体薄膜。谢谢了!

不客气

条状电极尽量窄一些,长一些(就是正方形面积尽量大一些)~
8楼2010-12-26 16:12:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 16:12:30:


不客气

条状电极尽量窄一些,长一些(就是正方形面积尽量大一些)~

thanks a lot!
9楼2010-12-26 16:19:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huyifeng

铁虫 (初入文坛)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
我的做法是首先在Si片上镀一层金,然后盖住一角作为底电极的引出端,再镀100nm左右的半导体膜,然后再盖上掩膜板镀金作为上电极,可是最后一测上下电极总是导通的,不知怎么回事,谁有更好的办法啊
10楼2012-03-09 14:41:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

styrenes

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5): 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by huyifeng at 2012-03-09 14:41:12:
我的做法是首先在Si片上镀一层金,然后盖住一角作为底电极的引出端,再镀100nm左右的半导体膜,然后再盖上掩膜板镀金作为上电极,可是最后一测上下电极总是导通的,不知怎么回事,谁有更好的办法啊

Si不是导电的嘛,镀一层金测什么?上电极也要印出端
11楼2012-03-13 13:53:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

战神归位

银虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你可以用Hall测啊
12楼2012-08-31 10:48:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
1957445楼: Originally posted by huyifeng at 2012-03-09 14:41:12
我的做法是首先在Si片上镀一层金,然后盖住一角作为底电极的引出端,再镀100nm左右的半导体膜,然后再盖上掩膜板镀金作为上电极,可是最后一测上下电极总是导通的,不知怎么回事,谁有更好的办法啊

侧面导通了吧  磨一下
13楼2013-01-23 11:08:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lmcr

铜虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问如何测欧姆接触?
14楼2013-03-29 23:29:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

差点儿就帅了

金虫 (初入文坛)


引用回帖:
13楼: Originally posted by dgz5530739 at 2013-01-23 11:08:13
侧面导通了吧  磨一下...

请问用什么磨?
15楼2013-07-10 09:56:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 muchongzq 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +8 Hll胡 2026-04-04 8/400 2026-04-05 11:40 by audery861007
[考研] 085600,321分求调剂 +10 大馋小子 2026-04-04 11/550 2026-04-05 08:25 by 544594351
[考研] 322求调剂:一志愿湖南大学 材料与化工(085600),已过六级。 +16 XX小邓 2026-03-29 18/900 2026-04-05 08:20 by gaoxiaoniuma
[考研] 材料与化工306分找调剂 +12 沧海轻舟e 2026-04-03 13/650 2026-04-04 23:45 by lqwchd
[考研] 调剂 +11 JLLLLLLLLLL 2026-04-03 11/550 2026-04-04 22:21 by hemengdong
[考研] 316求调剂 +9 墨辰_Orion926 2026-04-04 9/450 2026-04-04 21:35 by lbsjt
[考研] 环境科学与工程334分求调剂 +9 王一一依依 2026-03-30 12/600 2026-04-04 20:55 by dongzh2009
[考研] 一志愿上海大学生物学346 +3 上海大学346调剂 2026-04-03 3/150 2026-04-04 20:20 by dongzh2009
[考研] 333求调剂 +9 阿科逸 2026-03-31 9/450 2026-04-04 18:25 by macy2011
[考研] 一志愿C9的化学工程(085602) 340分,感觉校内调剂无望,求调剂 +9 万事宜臻 2026-04-04 9/450 2026-04-04 11:49 by 啵啵啵0119
[考研] 本9一志愿2 0854低分专硕286求调剂 +9 芒种111 2026-04-04 9/450 2026-04-04 11:01 by tangruihua
[考研] 268求调剂 +8 你好tg 2026-04-03 9/450 2026-04-04 05:08 by gswylq
[考研] 求调剂,一志愿北京中医药大学 +3 小小达不溜 2026-04-02 3/150 2026-04-03 22:55 by 冲矢昴星团
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 工科341分调剂 +3 洛多罗 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:20 by 1753564080
[考研] 一志愿华南师范大学-22408计算机-292分-求华南师范大学调剂 +4 爱读书的小鳄鱼 2026-04-02 4/200 2026-04-02 18:35 by 求调剂zz
[考研] 0856初试324分求调剂 +6 想上学求调 2026-04-01 6/300 2026-04-02 11:42 by 星空星月
[考研] 324求调剂 +5 想上学求调 2026-04-01 6/300 2026-04-02 10:16 by sanrepian
[考研] 303分 0807学硕求调剂 +3 TYC3632 2026-04-01 3/150 2026-04-01 19:24 by lwk2004
[考研] 080200学硕,机械工程专业277分,求带走! +4 瓶子PZ 2026-03-31 4/200 2026-03-31 20:16 by vgtyfty
信息提示
请填处理意见