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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】四端法测薄膜半导体电阻
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muchongzq

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】四端法测薄膜半导体电阻

小虫化学出身，最近想用四端法测半导体的电阻率，是个薄膜，厚度跟纸差不多，平面尺寸在厘米量级，有以下问题想请教：
1。我想先在膜上蒸镀金属，再引出导线跟测量仪器连接，这样电流注入就不是点了，需要修正吗，怎样修正呢？（6个金币）
2。四端法从原理上讲，需要四个电极等间距分布吗？实际上不等间距分布会有影响吗？（3个金币）
敬请大家帮助！！
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1楼 2010-12-26 11:08:58
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1957445楼: Originally posted by huyifeng at 2012-03-09 14:41:12
我的做法是首先在Si片上镀一层金，然后盖住一角作为底电极的引出端，再镀100nm左右的半导体膜，然后再盖上掩膜板镀金作为上电极，可是最后一测上下电极总是导通的，不知怎么回事，谁有更好的办法啊

侧面导通了吧  磨一下
赞一下 回复此楼
13楼2013-01-23 11:08:13
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