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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】四端法测薄膜半导体电阻
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muchongzq

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】四端法测薄膜半导体电阻

小虫化学出身，最近想用四端法测半导体的电阻率，是个薄膜，厚度跟纸差不多，平面尺寸在厘米量级，有以下问题想请教：
1。我想先在膜上蒸镀金属，再引出导线跟测量仪器连接，这样电流注入就不是点了，需要修正吗，怎样修正呢？（6个金币）
2。四端法从原理上讲，需要四个电极等间距分布吗？实际上不等间距分布会有影响吗？（3个金币）
敬请大家帮助！！
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1楼 2010-12-26 11:08:58
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whngdfa

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
muchongzq(金币+3): 2010-12-26 16:02:34
小木虫:)(金币+5):3q 2010-12-27 04:50:39
引用回帖:
Originally posted by muchongzq at 2010-12-26 15:44:58:


谢谢！您说蒸镀容易弄得太大，是不是四探针法原理上要求点接触呢？
我如果要测方块电阻，应该怎么操作呢，是用范德堡法么，还是有别的方法？
谢谢您！

范德堡法和四探针，理论上都要求点接触
还是那个问题，你的薄膜厚度是否可知，均匀性如何
如果厚度已知，且均匀性较好，可以直接在薄膜上做两个长度相同的条状电极，使两间距和它们的长度一样(也就是说两电极之间是个正方形)，直接测两电极之间的电阻就行了，这个就是方块电阻了，然后乘以薄膜厚度就是电阻率
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6楼2010-12-26 15:56:38
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
muchongzq(金币+2): 2010-12-26 14:06:58
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。
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2楼2010-12-26 11:32:23
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muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by nzhth at 2010-12-26 11:32:23:
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。

谢谢啊，可是我们这没有专门的仪器，只有测电阻的老机子，伸出四个夹子，“为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的”可否再详细一点呢
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3楼2010-12-26 14:11:53
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whngdfa

木虫 (小有名气)
muchongzq(金币+4): 2010-12-26 15:39:41
如果自己测的话，建议用范德堡法，在正方形的四个角上做四个电极就行了，只需要一个稳压源，一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外，电极可以直接用In球，拿烙铁焊上去就行了，弄好后检查一下欧姆接触，蒸镀太麻烦，且容易做得太大
如果薄膜厚度已知且均匀的话，可以直接测方块电阻，乘以厚度就是电阻率了，这个方法一般误差不会超过一个量级，还比较准

[ Last edited by whngdfa on 2010-12-26 at 14:50 ]
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4楼2010-12-26 14:47:46
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