应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】四端法测薄膜半导体电阻
51/1返回列表
查看: 2806  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】四端法测薄膜半导体电阻

小虫化学出身，最近想用四端法测半导体的电阻率，是个薄膜，厚度跟纸差不多，平面尺寸在厘米量级，有以下问题想请教：
1。我想先在膜上蒸镀金属，再引出导线跟测量仪器连接，这样电流注入就不是点了，需要修正吗，怎样修正呢？（6个金币）
2。四端法从原理上讲，需要四个电极等间距分布吗？实际上不等间距分布会有影响吗？（3个金币）
敬请大家帮助！！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

半导体技术 薄膜电阻率测试仪

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-26 11:08:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whngdfa

木虫 (小有名气)
muchongzq(金币+4): 2010-12-26 15:39:41
如果自己测的话，建议用范德堡法，在正方形的四个角上做四个电极就行了，只需要一个稳压源，一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外，电极可以直接用In球，拿烙铁焊上去就行了，弄好后检查一下欧姆接触，蒸镀太麻烦，且容易做得太大
如果薄膜厚度已知且均匀的话，可以直接测方块电阻，乘以厚度就是电阻率了，这个方法一般误差不会超过一个量级，还比较准

[ Last edited by whngdfa on 2010-12-26 at 14:50 ]
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-12-26 14:47:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
muchongzq(金币+2): 2010-12-26 14:06:58
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。
赞一下 回复此楼
2楼2010-12-26 11:32:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by nzhth at 2010-12-26 11:32:23:
四探针法的目的就是消除欧姆接触的影响。有专门仪器，为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的。其原理其实很简单的。

另外，不用引电极，直接在表面测即可啊。

谢谢啊，可是我们这没有专门的仪器，只有测电阻的老机子，伸出四个夹子，“为了方便计算，要求等距。如果你子组装的话，结果不会很准的”可否再详细一点呢
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-26 14:11:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muchongzq

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by whngdfa at 2010-12-26 14:47:46:
如果自己测的话，建议用范德堡法，在正方形的四个角上做四个电极就行了，只需要一个稳压源，一个万用表就能测了
四探针最好还是用专门的测量仪做
另外，电极可以直接用In球，拿烙铁焊上去就行了，弄好后检查一下 ...

谢谢！您说蒸镀容易弄得太大，是不是四探针法原理上要求点接触呢？
我如果要测方块电阻，应该怎么操作呢，是用范德堡法么，还是有别的方法？
谢谢您！
赞一下 回复此楼
5楼2010-12-26 15:44:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭